江门pfeiffer分子泵维修***常用指南,潽拓光电
作者:潽拓光电2020/5/23 6:50:47





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广州潽拓光电——真空计 BPG400 and PCG 402 的工作原理

1、真空计 BPG400 and PCG 402 都是皮拉尼(Pirani)真空计2、皮拉尼(Pirani)真空计原理低温的气体分子碰撞高温固体时,会从固体夺取热量。通过被气体分子夺取的热量来计算压力的真空计被成为热传导真空计。热传导真空计主要被应用于中低真空领域。代表性的热传导真空计包括Pirani真空计和热电偶真空计。它随附ISO100或CF100入口法兰,具备300ls-1的N2抽速。 原理

金属圆筒内部设有一白金细线,两端连接电极。通过电极给白金细线提供电流时,白金细线会发热,气体分子碰撞白金细线或热辐射或通过固体热传导等方式,白金线的热量会被夺走。从科学仪器到工业制程的多种应用场合,均已证明这些真空计坚固可靠。单位时间内以上三种方式夺走的热量为Qg,Qr,Qs,则平衡状态下时以下公式成立

Q = I2R = Qg Qr Qs (1)

Q是单位时间细线放出的热量,R是细线的电阻,I是细线的电流。 气体的平均自由行程比细线的直径大很多时,Qg通过自由分子的热传导被表示为

Qg = αΛπda(T-T0)p (2) T和T0分别为细线和金属圆筒的温度,P为气体压力,a是细线长度。 剩下的Qs和Qr可以分别表示如下

Qs = Sκ(T-T0)/L (3) Qr = πdaσε(T4-T04) (4) (3)是电极的热传导,其中S是细线的断面积,κ是固体的传导率,L是电极的长度。(4)式代表热辐射,σ和ε分别被称为常数和固体辐射率。如果保持T和T0一定,则(3)和(4)式为常数。l可以提高抽速,并允许非常高的排气压力,大大降低了对前级泵的要求,节约了前级泵的成本。如果用I02R表示一定量的固体热传导和热辐射,则式1可以表示为

I2R = Ap + I02R (5) A = αΛπda(T-T0) (6) I0是压力为0的时候细线的电流, 是弥补固体热传导和热辐射而带来的热量损失。A式是不依存压力的定数 如果已知细线的电阻R,电流I0及定数A,则可以通过(5)式求得压力P。

nEXT240D是一款采用混合轴承的新型复合涡轮分子泵,用以代替EXT255H和EXT255DX涡轮分子泵,其接口法兰有ISO100和CF100两种,对N2的抽速为240l/s。nEXT在以前产品的基础上改进轴承技术,下轴承为油润滑陶瓷轴承,上轴承为*磁悬浮轴承,使得用户就可以自行维护;涡轮转子都用单独一块铝合金整体加工而成,重量***xiao化,分子泵可以在360度范围内以任意角度工作而无需任何调整。同时改进转子设计,增加一个分子拖曳级,提高了泵速和压缩比。nEXT泵的电机驱动电压为24~48V DC,与DX泵和TIC控制器兼容,这样一台nEXT240D泵、一台TIC控制器、一个空冷或水冷附件,再选用一台合适的前级泵就可以组成一套基本的抽真空系统。


结构特点

(1)泵总体结构型式

真空泵的泵体的布置结构决定了泵的总体结构。

立式结构的进、排气口水平设置,装配和连接管路都比较方便。但泵的重xin较高,在高速运转时稳定性差,故这种型式多用于小泵。

卧式泵的进气口在上,排气口在下。有时为了真空系统管道安装连接方便,可将排气口从水平方向接出,即进、排气方向是相互垂直的。此时,排气口可以从左或右两个方向开口,除接排气管道一端外,另一端堵死或接旁通阀。这种泵结构重xin低,高速运转时稳定性好。灵活性同样很重要,因为这些简单的维护可以由*终用户执行,或者由爱德华现场维修技术人员在现场执行,也可以将泵返回给爱德华维修中心。一般大、中型泵多采用此种结构。

泵的两个转子轴与水平面垂直安装。这种结构装配间隙容易控制,转子装配方便,泵占地面积小。但泵重xin较高且齿轮拆装不便,润滑机构也相对复杂。

(2)泵的传动方式

真空泵的两个转子是通过一对高精度齿轮来实现其相对同步运转的。主动轴通过联轴器与电机联接。在传动结构布置上主要有以下两种:其一是电动机与齿轮放在转子的同一侧如图。从动转子由电动机端齿轮直接传过去带动,这样主动转子轴的扭转变形小,则两个转子之间的间隙不会因主动轴的扭转变形大而改变,故使转子之间的间隙在运转过程中均匀。但泵的重xin较高,在高速运转时稳定性差,故这种型式多用于小泵。这种传动方式的***大缺点是:a.主动轴上有三个轴承,增加了泵的加工和装配难度,齿轮的拆装及调整也不便;b.整体结构不匀称,泵的重xin偏向电动机和齿轮箱一侧



性能特点

● 转子设计技术***,大大提高抽气速率和压缩比。

● 日常维护用户就可以进行,无需复杂工具,拆卸简单。

● 设计紧凑,性能优越,利于系统集成。

● 与Edward* TIC涡轮仪表控制器兼容,可以连接3个真空规,无需再配备其它真空规控制器。

● 通过RoHS认证和CSA/UL认证。



广州潽拓光电科技——VG***03 英福康INFICON 真空表

兼容INFICON的热电离,冷电离,皮拉尼及电容薄膜四种真空规,为您测量和控制过程提供合适的解决方案。VG***00系列控制器的测量范围为10-8至1.5 x 105Pa (10-10to 1500 mbar 、10-10to 1125 Torr).

优点:

- 通过RS232接口,固件升级可以很容易在网上找到

- 用户可设置0至10V输出图表记录器显示每个计量或计量组合线性曲线

- 高分辨率- 16位A/D转换

- 自动识别连接INFICON的真空规

- 用户可选择测量单位(mbar, Torr, Pascal, micron)

- 多达6个可调设点,调设后可以分配给每个频道

- 多功能,紧凑型台式模型设计可以很容易地安装在一个小控制板或19'机架上

- 宽范围的电源供应:90V-250V,50-60 Hz



用途

VG***01,VG***02和VG***03真空规控制器是用于显示和控制INFICON制造的真空规。





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