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作者:潽拓光电2020/5/16 23:35:00





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广州潽拓光电科技有限公司***维修PFEIFFER Hipace 400分子泵,HiPace 400 用于分子束外延 MBE, 主要针对金属薄膜及材料器件的氧化物外延生长.


分子泵应用 HiPace 400: 广泛应用于各个真空行业

镀膜: 光伏, CD/ DVD/ PVD, 光学镀膜, 硬质涂层

工业: ***技术、工业检漏、电子束焊接、隔离真空、热处理、灯管制造

研发: 核研究, 等离子研究,冷冻研究, 纳米技术, 生物技术



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Pfeiffer 普发TMH521P机械泵***,Pfeiffer TMH521P普发涡轮分子泵进气法兰口DN 100 ISO-K/DN 100 ISO-F/DN 160 ISO-K/DN 160 ISO-F,出气法兰口 DN 25 ISO-KF,DN100ISO-K/DN 100ISO-F抽速可达到290 L/s,DN160 ISO-K/DN 160 ISO-F抽速可达到510 L/s,极限真空5X10-10 mbar。真空泵设备在进行换油的时候不宜长久开动电机,这时候也就会使得排气阀片跳动过于剧烈和疲劳。


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