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广州潽拓光电——TV301分子泵
特点：
功耗更低、性能更加
通过减少发热而节能，并提高可靠性
可拆卸的前级连接器
可连接各种前级泵
冷却方式灵活（风冷或水冷）
为风冷而优化的冷却翘片
通过降低工作温度进一步提高可靠性
泵具有优化的几何尺寸
功率要求低，前级耐压高及可承高气载
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德国 Pfeiffer Vacuum 普发真空
分子泵 Hipace 80/TMH 071 系列的工作原理
轴承
通过两个球轴承安装涡轮分子泵转子轴需要将两个球轴承都 安排在前真空侧，因为轴承中
有润滑剂。这导致转子凭借其 较大质量产生的单边（悬臂）支撑。
混合轴承支撑就转子动力学而言在这方面有优势。混合轴承zhi定在一个单一泵中使用两个
轴承的概念。在这种情况下，油润滑球轴承安装在前真空侧上轴的端部，且高真空侧配备 了
免维护和无磨损的永磁轴承，其将转子置于径向中心位 置。润滑前真空侧轴承的油包含在
工作液储罐中。小型安全 轴承布置在磁轴承转子内。在正常工作期间，轴颈在该轴承 内自
由旋转。如果存在强劲的径向冲击，安全轴承则稳定转 子并只短时间转动。如果转子失去
平衡，轴两端的轴承将比 浮动轴承的情况下产生显著较低的轴承应力振动力。高真空 侧的
磁轴承对振动完全不敏感。因此，中山德国pfeiffer分子泵，只有非常小的振动力 被传输到壳体上。而且，这无需悬
臂概念中较大的两个轴 承，其较大尺寸限制了转速。
法兰直径为 100 mm 的大型泵另外使用被称为 5 轴磁轴承的 轴承 [24]。通过距离传感器
和电磁体实现的数字电气控制使 转子悬浮。涡轮转子运动的自由度可连续监控并实时调整。
转子与壳体之间无机械接触将泵产生的振动保持在低水平。 转子围绕其自身的惯性轴线自
转。由于一侧涂层或腐蚀（如 在等离子刻蚀中）产生的任何不平衡可在广泛的限制内抵 消。
除前级真空侧无油外，无磨损和免维护是另一个优势。在停 电的情况下，通过泵的旋转能
量为磁轴承供电。这使得停电 可以很容易地桥接数分钟。如果停电持续时间较长，通过使 用
集成的安全轴承，转子将以非常低的速度安全停止。在系统故障期间，安全轴承关闭转子，
以避免对泵造成任何损 坏。
电动机/驱动器
能够提供旋转频率高达 1，500 Hz (90，000 rpm) 的无刷直流电 动机用于驱动转子。这使得叶
片速度是泵送气体所必需的。
如今，驱动器通常都是直接连接到泵上。电源是 24、48 或 72 伏的直流电，通过外部电源
包或集成在泵的电子单元中的 电源包产生电流。
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广州潽拓光电科技——VG***03 英福康INFICON 真空表
兼容INFICON的热电离，冷电离，皮拉尼及电容薄膜四种真空规，为您测量和控制过程提供合适的解决方案。VG***00系列控制器的测量范围为10-8至1.5 x 105Pa (10-10to 1500 mbar 、10-10to 1125 Torr).
优点：
- 通过RS232接口，固件升级可以很容易在网上找到
- 用户可设置0至10V输出图表记录器显示每个计量或计量组合线性曲线
- 高分辨率- 16位A/D转换
- 自动识别连接INFICON的真空规
- 用户可选择测量单位（mbar， Torr， Pascal， micron）
- 多达6个可调设点，调设后可以分配给每个频道
- 多功能，德国pfeiffer分子泵怎么样，紧凑型台式模型设计可以很容易地安装在一个小控制板或19'机架上
- 宽范围的电源供应：90V-250V，50-60 Hz
用途
VG***01，VG***02和VG***03真空规控制器是用于显示和控制INFICON制造的真空规。
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