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德国 Pfeiffer Vacuum 普发真空

分子泵 Hipace 80/TMH 071 系列的工作原理

设计/工作原理

普发真空于 1958 年由 W. Becker 博士开发涡轮分子泵并获 得专利。涡轮分子泵属于动能

真空泵的范畴。它们的设计类 似于涡轮机的设计。多级、具有叶盘的涡轮状转子在壳体内 旋

转。涡轮机或压缩机的叶片被统称为叶片装置。转子盘之 间插入的倒置镜是具有类似几何

形状的叶片定子盘。

轴承

通过两个球轴承安装涡轮分子泵转子轴需要将两个球轴承都 安排在前真空侧，因为轴承中

有润滑剂。这导致转子凭借其 较大质量产生的单边（悬臂）支撑

电动机/驱动器

能够提供旋转频率高达 1,500 Hz (90,000 rpm) 的无刷直流电 动机用于驱动转子。这使得叶

片速度是泵送气体所必需的。

如今，驱动器通常都是直接连接到泵上。电源是 24、48 或 72 伏的直流电，通过外部电源

包或集成在泵的电子单元中的 电源包产生电流

ALCATEL阿尔卡特ATH1000M磁浮分子泵

我司对Alcatel ATH1000M分子泵维修***内容如下：＊超声波全方面清洗转/定子叶片及腔体并烘干＊更换了***原装进口陶瓷轴承,及密封件等损耗品＊马达线圈阻值测量,转子定子间隙测量＊根据ISO1940/1amp; ANSI S2.19,调整测试动平衡至Ｇ0.１6标准＊测试0-42000rpm启动时间lt;6分钟 *测试极限真空值lt;1.0*10－7mbar *持续模拟生产现场测试24小时＊0-20KHz震动频谱加速度分析＊6000-42000rpm全转速动平衡分析及校准＊Pfeiffer HLT560氦质谱检漏仪测试分子泵的渗漏率小于2.0*10－9mbar*L/s

德国 Pfeiffer Vacuum 普发真空

有润滑剂。这导致转子凭借其 较大质量产生的单边（悬臂）支撑。

混合轴承支撑就转子动力学而言在这方面有优势。混合轴承zhi定在一个单一泵中使用两个

轴承的概念。在这种情况下，油润滑球轴承安装在前真空侧上轴的端部，且高真空侧配备 了

免维护和无磨损的永磁轴承，其将转子置于径向中心位 置。润滑前真空侧轴承的油包含在

工作液储罐中。小型安全 轴承布置在磁轴承转子内。在正常工作期间，轴颈在该轴承 内自

由旋转。如果存在强劲的径向冲击，安全轴承则稳定转 子并只短时间转动。如果转子失去

平衡，轴两端的轴承将比 浮动轴承的情况下产生显著较低的轴承应力振动力。高真空 侧的

磁轴承对振动完全不敏感。因此，只有非常小的振动力 被传输到壳体上。而且，这无需悬

臂概念中较大的两个轴 承，其较大尺寸限制了转速。

法兰直径为 100 mm 的大型泵另外使用被称为 5 轴磁轴承的 轴承 [24]。通过距离传感器

和电磁体实现的数字电气控制使 转子悬浮。涡轮转子运动的自由度可连续监控并实时调整。

转子与壳体之间无机械接触将泵产生的振动保持在低水平。 转子围绕其自身的惯性轴线自

转。由于一侧涂层或腐蚀（如 在等离子刻蚀中）产生的任何不平衡可在广泛的限制内抵 消。

除前级真空侧无油外，无磨损和免维护是另一个优势。在停 电的情况下，通过泵的旋转能

量为磁轴承供电。这使得停电 可以很容易地桥接数分钟。如果停电持续时间较长，通过使 用

集成的安全轴承，转子将以非常低的速度安全停止。在系统故障期间，安全轴承关闭转子，

以避免对泵造成任何损 坏。

包或集成在泵的电子单元中的 电源包产生电流。