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广州潽拓光电——VARIAN分子泵维修Turbo-V 1K-G维修图片
agilent Turbo-V 1K-G涡轮分子泵功能特点:
MTTF 超过 200000 小时
转子设计显著降低重量和机械应力
拥有专利的转子轴配合技术可大大降低转子拉伸应力
市场上仅有的真正“一体化”系统
无油、耐用、可靠
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广州潽拓光电——INFICON IKR 251高真空规
本产品的 型号为IGG25500, 输出信号是模拟型, 品牌为INFICON, 种类是真空度, 制作工艺为冷阴
该产品一般用于半导体、光学镀膜行业,德国pfeiffer分子泵维修,为inficon定制产品。

优点:
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广州潽拓光电
BOC STP-iXA3306CV涡轮分子泵维修,德国pfeiffer分子泵型号,爱德华STP-iXA3306CV分子泵
BOC STP-iXA3306 系列磁悬浮涡轮分子泵可提供业内***的性能,可将小型电源供给集成到机载控制器内(成熟的 STPiXA3305 系列的新技术)。
BOC STP-iXA3306分子泵的高度等于 STP-XA2703/XA3203 的高度,德国pfeiffer分子泵***,也等于BOC STP-iXA3305 系列(不带其电源供给 (iPS-1200))的高度。⑹真空泵通电试运转时,须取下电机皮带,确认真空泵转向符合规定方向方可投入使用,以防真空泵反转喷油。 这一完全集成的产品易于安装且占地面积小,可作为所有应用工具的一体化解决方案。
BOC STP-iXA3306分子泵特性与优势:
与现有涡轮泵相比振动级别降低了 50%
可以配置为运行腐蚀性制程
紧凑型设计,包括完全集成的控制器
创新性自传感磁力轴承系统
数字化 5 轴控制
BOC STP-iXA3306分子泵用途:
溅射
离子注入源,射束线泵送和站
金属(铝)、钨和电介质(氧化物)以及多晶硅等离子刻蚀(氯化物、氟化物)
电子回旋共振 (ECR) 刻蚀
薄膜沉积 CVD、PECVD、ECRCVD、MOCVD


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