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气体输送能力强
大多数涡轮分子泵对于输送轻气体(如氢、氦)的能力很强。因而它非常适于超高真空下的工艺操作。对于那些富氢的工艺过程,氦质谱检漏仪等场合均可得到应用。产品详情:品牌:爱德华泵型号:NEXT400D极限压力:6x10-8pa抽气速率:400l/s驱动方式:电动输送介质:清水泵电压:24V流量:400m3/h功率:0。有专门设计用于抽除腐蚀性气体的涡轮分子泵,适用于刻蚀、反应离子刻蚀,离子束加工,低压化学气相沉积,外延及离子注入等工艺操作。
分子泵清洗的方法如下:
1.关掉分子泵,进行排气。
2.从机器上拆下分子泵,注意不要碰到接口的边缘部分。
3.拆掉冷却器、加热器(如果有的话)等
4.拆掉润滑的油包
5.将分子泵的高真空接口朝下垂直地放入一个适合的容器中。
广州潽拓光电科技有限公司从事高真空设备研制、生产、销售、工程安装及***维修服务于一体的综合性企业,由从事多年真空系统开发,真空设备技术研发,维修工程师,工程师组成的一支技术实力雄厚,充满活力的高素质团队。
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e2m28 泵是双级、直联式滑片泵。 该泵是油封的,旨在于实验室和工业环境中都能进行可靠的长期运行。 该泵是自由放置的装置,其传动由一个单相或三相(四极)电机通过活动联结器提供。
英国edwa*** 爱德华真空泵e2m28技术数据:
排量(工作容积)
50 hz32.2 m3h-1 / 19 ft3min-1
60 hz38.9 m3h-1 / 22.3 ft3min-1
速度 (pneurop 6602)27.5 m3h-1 / 16.2 ft3min-1
极限真空(总压力)不带气镇
1 x 10-3 mbar / 7.5 x 10-4 torr
带气镇1.5 x 10-2 mbar / 1.1 x 10-2 torr
带 fomblin1 x 10-2 mbar / 7.5 x 10-3 torr
入口连接nw25 法兰
出口连接可从 3/4 in bsp 塞孔卸下的 15 mm 外径喷嘴
出口处的***da允许压力0.5 bar 表压/7 psig蒸汽的***da进气口压力30 mbar / 23 torr***水蒸汽抽速0.7 kg h-1工作温度范围13 – 40 °c标称转速1440/1720 rpm电机功率0.75 kw0.90 kw电源连接器iec en60320 c19重量40 kg / 88 lbs噪音50 hz 时 57 db(a)油容量 - ***da1.5 升油容量 - ***xiao1.2 升推荐使用的油(提供)ultragrade 19
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英国EDWA***爱德华nEXT240D分子泵维修
Edwa*** nEXT240D分子泵是一款磁悬浮轴承与陶瓷轴承结合使用的复合分子泵,有ISO100和CF100两种入口法兰接口,对N2的抽速为240l/s。
性能特点
的转子设计,可以实现***的抽速和压缩比维护简便,用户可以在短时间内完成维护,无需复杂的工具或拆卸设计紧凑,性能***,可以实现***系统化与Edwa*** TIC涡轮仪表控制器兼容,可加3个真空规,而无需额外控制器符合RoHS,并通过CSA/UL认可.
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