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Shimadzu TMP-V2304LM岛津磁悬浮分子泵维修

概要：

涡轮分子泵是用于将真空容器内部排放呈高度真空的真空泵，通常和辅助泵配套使用。

主要用途：半导体制造装置、产业装置、研究开发设备、其他超高真空设备等。

标准规格如下：

ATHM系列磁悬浮分子泵安装注意事项

*内置加热带可以帮助泵运行在较高温度（***gao75摄氏度），从而避免沉积物的累积；

*加热带由控制器进行温度控制，ATHMT型分子泵已随泵携带冷却水阀

*分子泵转速的调节——待机转速

—ATHM磁悬浮分子泵的转速可以调节运行在***di待机转速与额定转速之间，这样可以根据客户的工艺情况（如运行在较gao压力下）使泵运行在***优状态。

***gao转速—34000 rpm（ATH 1300M/MT）

*磁悬浮分子泵的安装要求

---磁悬浮分子泵运行时所具备的动能非常高，泵出现机械故障或者发生意外时，没有正确安装的泵完全可能由于动能传递到泵体而使得泵脱离设备从而造成事故

---当泵在运行过程中转子突然卡死时，转子的动能将被传递到泵体和设备上

---通过模拟分子泵损坏时的***坏状况（转子在全速时碎成两半）

广州潽拓光电——INFICON PCG550皮拉尼电容式膜片真空计 3PC1-001-110

加工定制 :否

品牌 :INFICON

型号 :PCG550,PCG552,PCG554

测量范围 :0.005-150000Pa

重量 :90-120kg

产品适用范围 :中低真空测量

产品货号 :3PC1-001-0000

PCG55X皮拉尼电容膜片真空计 INFICON 皮拉尼电容膜片真空计 (PCG55x) 将 INFICON 陶瓷电容膜片传感器技术（CDG）与皮拉尼的优点综合在单个产品中，测量范围在 10 毫巴与大气压之间, 电容膜片技术为可靠的压强测量提供与气体类型无关的高精准测量值。⑶真空泵与系统的连接管道应密封可靠，对小真空泵可采用金属管路连接密封垫采用耐油橡胶，对小真空泵可采用真空胶管连接，管道管径不得小于真空泵吸气口径，且要求管路短而少弯头。 PCG55x还具有各种特点, 是各种高要求真空测量应用中的理想选择

典型应用

加载互锁控制

前级真空压力测量

真空系统中的安全电路

中真空和低真空范围内的一般真空测量和控制