潽拓——edwards分子泵，分子泵

EDWARDS 维修爱德华EXT75i磁悬浮分子泵 EXT70

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1.坚持使用原装进口陶瓷轴承保证。 2.坚持使用原装进口密封套件耗件保证 3.快修服务：7天24小时，全年365天无休。英国edwards爱德华真空泵e2m28技术数据：排量（工作容积）50hz32。 4.原装进口陶瓷轴承，分子泵配件销售业务 5.提供在线*高达240’000rpm高速动平衡服务 6.提供完整的[Turn-key]服务 7.提供真空系统咨询，安装调试，保养维修及现场技术支持等完整[Total-Solution]服务

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广州潽拓光电—— 爱德华Edwards STP-iXR2206磁悬浮分子泵维修

Edwards STP-iXR2206英国爱德华磁悬浮分子泵维修，Edwards STP-iXR2206爱德华磁悬浮分子泵进气法兰口ISO250F/VG250/DN250CF/ISO250F，出气法兰口KF40，抽速可达到2200 L/s，极限压力10-7 Pa，转速为27700rpm，自带控制器。转子间及转子和壳体间均有间隙，不用润滑，摩擦损失小，可大大降低驱动功率，从而可实现较高转速。

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气体输送能力强

大多数涡轮分子泵对于输送轻气体（如氢、氦）的能力很强。因而它非常适于超高真空下的工艺操作。1Pa极限真空度：1Pa抽气速率：1L/s电机功率：1kW工作压强范围：1Pa温升：60℃进气口径：50mm。对于那些富氢的工艺过程，edwards分子泵，氦质谱检漏仪等场合均可得到应用。有专门设计用于抽除腐蚀性气体的涡轮分子泵，适用于刻蚀、反应离子刻蚀，离子束加工，低压化学气相沉积，外延及离子注入等工艺操作。

分子泵清洗的方法如下：

1．关掉分子泵，进行排气。

2．从机器上拆下分子泵，注意不要碰到接口的边缘部分。

3．拆掉冷却器、加热器（如果有的话）等

4．拆掉润滑的油包

5．将分子泵的高真空接口朝下垂直地放入一个适合的容器中。

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