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气体输送能力强
大多数涡轮分子泵对于输送轻气体(如氢、氦)的能力很强。这个系列装备可以完全地安装与一个控制器、连接缆绳、电缆和STP泵浦在预定的入口屏幕。因而它非常适于超高真空下的工艺操作。对于那些富氢的工艺过程,氦质谱检漏仪等场合均可得到应用。有专门设计用于抽除腐蚀性气体的涡轮分子泵,适用于刻蚀、反应离子刻蚀,离子束加工,低压化学气相沉积,外延及离子注入等工艺操作。
分子泵清洗的方法如下:
1.关掉分子泵,进行排气。
2.从机器上拆下分子泵,注意不要碰到接口的边缘部分。
3.拆掉冷却器、加热器(如果有的话)等
4.拆掉润滑的油包
5.将分子泵的高真空接口朝下垂直地放入一个适合的容器中。
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英国EDWA***爱德华nEXT240D分子泵维修
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Edwa*** nEXT240D分子泵是一款磁悬浮轴承与陶瓷轴承结合使用的复合分子泵,有ISO100和CF100两种入口法兰接口,对N2的抽速为240l/s。
性能特点
我司从事机电自动化,光电存储媒体,半导体,医liao,太阳能电池板,玻璃镀膜,科学研究所等真空镀膜设备维修,销售,设计,开发及系统工程,软件开发,美国爱德华edwa***,leybold,Pfeiffer,Alcatel,Agilent(Varian),BOC Edwa***,Osaka,edwa***爱德华,ULVAC,Shimadzu等一线品牌分子泵,真空泵,真空计***维修***/销售等业务。广州潽拓光电科技有限公司从事高真空设备研制、生产、销售、工程安装及***维修服务于一体的综合性企业,由从事多年真空系统开发,真空设备技术研发,维修工程师,工程师组成的一支技术实力雄厚,充满活力的高素质团队。
广州潽拓——EDWA*** RV5旋转式叶片泵出售
单级旋片真空泵
一、旋片式真空泵特点
1、设计特点
(1)旋片式真空泵的整体设计
旋片泵的电机与泵采用整体化设计,是泵的整体更为紧凑轻巧。
(2)旋片式真空泵的外观设计
真空泵的电机外壳采用采用铝合金材料,铝合金具有较高的散热效率,保证长时间连续的正常运行,爱德华edwa***真空泵,并具有较好的外观。
(3)旋片式真空泵的内部设计
旋片泵的油箱有作隔层处理,同时在排气中上设置油气分离装置,因此无喷油并减少油雾污染。
(4)旋片式真空泵的返油设计
为了避免真空泵的返油,旋片泵在进气通首作特殊设计,能防止停泵后泵油返流而污染被抽空器及管路。
2、性能特点
(1)旋片式真空泵能够在在较宽的压力范围内有较大的抽速。
(2)旋片式真空泵的转子几何对称性好,所泵在工作过程中运行比较平稳。
(3)旋片泵的结构设计中,转子之间、转子和壳体之间留有空隙,磨损小;同时降低驱动功率,实现高速运转。
(4)旋片泵泵腔内无需油密封和润滑,可减少油蒸气对真空系统的污染。
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