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广州潽拓——***维修PFEIFFER DUO 3
双级旋片泵 DUO 2.5/DUO 3 工作原理
旋片式真空泵是油密封的旋转式排量泵。泵系统包括一个壳 体 (1)、一个偏心地
安装的转子 (2)、在离心力和弹力作用下 径向移动的叶片 (3) 以及入口和出口
(4)。入口阀（如配置）被设计为真空安全阀，该阀在操作过程中始终处于打开状 态。
工作室 (5) 位于壳体内，并受到定子、转子和叶片的限 制。偏心安装的转子和叶
片将工作室分为具有可变容积的两 个***舱。当转子转动时，气体流入扩大的吸入
室直至其被 第二个叶片封住。封闭气体然后进行压缩，直到出口阀冲破 大气压力
而开启。出口阀是油封的。当阀打开时，少量的油进入吸入室，不仅能够对其进行
润 滑，而且能够将叶片与壳体（定子）密封开来。
旋片式真空泵的工作原理
在气镇操作的情况下，一个孔向外侧打开，让气体流入前侧 的密封吸入室。因此，
在压缩抽吸阶段，在相对低的压缩下 达到打开出口阀所需的压力。这使得蒸汽开始
冷凝前排出置 换的气体/蒸汽混合物。在操作过程使用气镇达到的***终压力 高于无
气镇操作所达到的压力。
工作液、油
泵油，也称为工作液，在旋片式真空泵中泵油有多个任务要 执行。它润滑所有移动
部件，填充出口阀下的固定空间以及 缩小入口和出口之间的间隙。它压缩叶片和工
作室之间的间 隙，此外还通过热传递确保温度平衡。
多级泵
旋片式真空泵是内置的单级和两极版。二极泵比单级泵实现 相对更低的极限压力。
此外，气镇对极限压力的影响较低， 因为气镇仅允许在高压力级使用。
真空安全阀
根据所涉及的泵类型，普发分子泵经销商，旋片式真空泵可能配备真空安全阀。 真空安全阀在有意或意
外停顿的情况下将泵与真空室隔离， 并使用置换气体对泵系统进行排气，防止油液
上升到真空室 中。在开启泵后，一旦泵中的压力已达到真空室中的近似压 力，它
稍作延迟就打开。
潽拓——普发分子泵，分子泵
广州潽拓光电科技有限公司，德国普发Pfeiffer TMH 261分子泵现货供应 维修 销售
德国普发 PFEIFFER TMH261 分子泵维修成功实拍图：
PfeifferTMH 262对应的分子泵电源为Pfeiffer TC100，普发分子泵代理商，对应电压为24V DC， Pfeiffer TC100 ，可以驱动对应的分子泵有Pfeiffer TMH071， Pfeiffer TMU071， Pfeiffer TMH262，其输出为3相 24V 0-1500Hz的PWM 电压。plitFlow系列的涡轮分子泵可以用一台泵同时对质谱系统的两个或三个腔体进行抽气。
广州潽拓——普发分子泵}普发 Hipace 80分子泵
广州现货普发 PFEIFFER Hipace 80分子泵
普发分子泵?Hipace?80的工作原理
轴承
通过两个球轴承安装涡轮分子泵转子轴需要将两个球轴承都安排在前真空侧，因为轴承中有润滑剂。这导致转子凭借其较大质量产生的单边（悬臂）支撑。
混合轴承支撑就转子动力学而言在这方面有优势。混合轴承 指ding在一个单一泵中使用两个轴承的概念。在这种情况下，油润滑球轴承安装在前真空侧上轴的端部，且高真空侧配备了免维护和无磨损的永磁轴承，其将转子置于径向中心位置。润滑前真空侧轴承的油包含在工作液储罐中。涡轮分子泵Hipace300通过保护等级IP54、半导体S2、UL/CSA认证。小型安全 轴承布置在磁轴承转子内。在正常工作期间，轴颈在该轴承内自由旋转。如果存在强劲的径向冲击，安全轴承则稳定转子并只短时间转动。如果转子失去平衡，轴两端的轴承将比浮动轴承的情况下产生显著较低的轴承应力振动力。高真空侧的磁轴承对振动完全不敏感。因此，只有非常小的振动力被传输到壳体上。并且，这无须悬臂概念中较大的两个轴承，其较小的尺寸限制了转速。
PFEIFFER ?Hipace?80配套的电源 TC110如下图
电源是?24、48?或?72?伏的直流电，通过外部电源包或集成在泵的电子单元中的?电源包产生电流
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