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作者:潽拓光电2019/12/27 10:29:05





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广州潽拓光电——***维修Edwa*** EXT255H 涡轮分子泵

涡轮分子泵是利用高速旋转的动叶轮将动量传给气体分子,使气体产生定向流动而抽气的真空泵。涡轮分子泵的优点是启动快,能抗各种射线的照射,耐大气冲击,无气体存储和解吸效应,无油蒸气污染或污染很少,能获得清洁的超高真空。涡轮分子泵广泛用于高能加速qi、可控热核反应装置、重粒子加速qi以及真空镀膜等需要获得高真空度制造工艺中。转子间及转子和壳体间均有间隙,不用润滑,摩擦损失小,可大大降低驱动功率,从而可实现较高转速。

优点:


大多数涡轮分子泵对于输送轻气体(如氢、氦)的能力很强。因而它非常适于超高真空下的工艺操作。对于那些富氢的工艺过程,氦质谱检漏仪等场合均可得到应用。有专门设计用于抽除腐蚀性气体的涡轮分子泵,适用于刻蚀、反应离子刻蚀,离子束加工,低压化学气相沉积,外延及离子注入等工艺操作。此时,排气口可以从左或右两个方向开口,除接排气管道一端外,另一端堵死或接旁通阀。


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Edwa*** E2M28双级油封式旋片机械真空泵


Edwa*** EM系列泵是结实耐用的机械油封泵,抽速为 0.7 到 275 m3/hr(30 到 206 CFM)。这些泵结构紧凑,使用时非常安静,edwa***分子泵维修,具备***的润滑回路,可靠性高,配有各种附件,可以满足特定的应用需求。热过载设备可防止过热(仅用于单相型号)该泵为自由放置的装置传动由一个单相或三相(四极)电机通过活动连接器提供电机是全封闭的,通过电机冷却风扇进行冷却。



EM18 与 EM 28系列的油封旋转泵,该泵是自由放置的装置,其传动由一个单相或三相(四极)电机通过活动联结器提供。

Edwa*** EM系列泵特性和优点:

? 可靠性

可靠且稳定的制程 - 即使是在高气体负荷下也可提供有效的润滑

? 稳定

无制程污染 - 油和空气反吸保护

? 性能

长期无故障 - 传动轴杆上安装有工业级滚柱轴承

? 再保证

安心 - 经过多年尝试、测试,已经成为工业标准

可靠且稳定 - 高真空性能





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Edwa*** EXT涡轮分子泵和复合分子泵提供可靠的、无碳氢化合物的高真空和超高真空。EXT使用多级轴流式涡轮机以及磁性陶瓷轴承,可为高临界前级线路压力制程提供无油、无振动的操作,同时将维护需求降至**。


Edwa*** EXT 70H 24V Code:B722-26-991 对应口径ISO100

复合分子泵,是英国爱德华真空为分析仪器专门设计的分子泵, Edwa*** EXT70H 24V 复合

分子泵,是专为超高真空设计的。



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