我司从事机电自动化,光电存储媒体,半导体,医liao,太阳能电池板,玻璃镀膜,科学研究所等真空镀膜设备维修,销售,设计,开发及系统工程,软件开发,leybold,Pfeiffer,EDWA***爱德华真空泵维修,Alcatel,Agilent(Varian),BOC Edwa***,Osaka,ULVAC,Shimadzu等一线品牌分子泵,真空泵,真空计***维修***/销售等业务。8kg叶轮数目:多级原理:真空泵性能:自动用途:化工泵材质:不锈钢类型:气体传输排出口径DN25mm。
功能和优势
-***的转子技术
-无油
-低振动
-高度可靠
-免维护
-***的控制器设计
-自动调整
-自行诊断功能
-直流电机驱动
-无电池运行
-紧凑型设计
-占地面积小
-半机架控制器
应用
-金属(铝)、钨和电介质(氧化物)以及多晶硅等离子刻蚀(氯化物、氟化物)
-电子回旋共振
-(ECR) 刻蚀
-光致抗蚀剂脱模
-晶体/晶膜生长
-晶片检查
-负载锁真空腔
-科学仪器:表面分析、质谱分析、电子显微镜
-高能物理:射束线
应用:融合系统、回旋
潽拓——edwa***爱德华,分子泵
广州德国原装Edwa***爱德华真空泵RV5旋转式叶片泵现货
Edwa***爱德华 RV5旋片真空泵产品特点:
Edwa*** RV 泵已经成为一次泵科学应用方面的行业标准。 RV 泵独具特色,能够以高真空提供高吞吐量或低吞吐量。 这一特点以及噪音低的优势使之成为广泛适用于各种应用(包括 GCMS 和其他小工作台式应用)的理想产品。
所有泵产品均经外部测试机构检验,符合 UL 和 CSA 标准。 Edwa*** 拥有遍布***的网络,英国edwa***爱德华,在世界各地对产品应用和服务提供支持。
Edwa*** RV系列旋转式叶片泵基于超过 75 年的经验 和全新设计计划以产生小型油封旋转式叶片泵的范围。 Edwa*** RV 系列真空泵已售出超过 200,000 台,为行业树立了新标准。这一成功基于在广泛的应用和环境中经过现场验证的设计和可靠性。
我司从事机电自动化,光电存储媒体,半导体,医liao,太阳能电池板,edwa***爱德华真空泵维修,玻璃镀膜,科学研究所等真空镀膜设备维修,销售,设计,开发及系统工程,软件开发,leybold,Pfeiffer,Alcatel,Agilent(Varian),BOC Edwa***,Osaka,ULVAC,edwa***爱德华,Shimadzu等一线品牌分子泵,真空泵,真空计***维修***/销售等业务。EV系列泵考虑到了可靠性和维修的方便性,旨在进军业和科学市场。
广州潽拓光电——出售EDWA*** 8真空泵以及***维修分子泵
一、油封机械真空泵工作原理
用油来保持运动部件的密封、靠泵腔容积变化而实现抽气的机械真空泵统称油封机械真空泵。它们的工作原理都是使泵腔工作室容积机械地增大和缩小而抽气。Edwa***STP-301CB1已经由科学仪器、半导体和磁介质行业的大型设备制造商投入使用,并得到了认可。当泵腔内工作室容积变得***xiao时,与泵的入口管道连通,于是气体进入泵吸入腔,一直到吸入腔容积***da并重新与进气口分开时为止。当容积减少时,气体被压缩,直到气体的压力大于一个大气压,排气阀被打开,将气体排出。
二、用油作密封泵液的必要性
当前大量使用的机械真空泵,即使设计得***好,相向运动的零件间配合精度即使很高。在泵达到极限真空时,也难以阻止气体由低真空端向入口端“突破”返流。这个设定允许应用的一种源远流长的解答在等离子蚀刻,飞溅,电子回旋共振治liao、影片性格和离子注入抽的惯例。另外,由于泵在设计制造及装配中不可避免地存在***空间,这也降低泵的极限真空度。油封机械真空泵就是用油将相向运动的零部件和排气阀零件间密封起来;将***空间充填,使得高压气体反“突破”的机会少得多,密封性能也就好得多,从而使泵能达到较高的真空度。
三、油封机械真空泵的应用
油封式旋转机械真空泵按照结构型式可分为定片式、旋片式、滑阀式、余摆线式四种。目前,油封机械真空泵是国内真空获得技术中应用***广的一种泵,它可单独用作低真空设备的排气用泵,也可用作高真空排气时的前级真空泵。因此,它已在国民经济的很多部门,例如电真空、电子、轻化工、钢铁、有色冶炼等工业部门中发挥着越来越大的作用。2ft3min-1英国edwa***爱德华真空泵e2m28技术数据:出口处的***da允许压力0。由于这类泵均装有气镇装置,故也可以抽除潮湿气体。但现在还不适于抽除含氧过高、有爆za性、对黑色金属有腐蚀性,对泵密封油起化学作用、及含有颗粒灰尘的气体。 目前,国内的许多研究单位和生产厂家正在设计和生产出抽除水蒸气和耐腐蚀的油封真空泵系列。随着新技术、新材料的发展和应用,性能更好的、能满足各种工业需要的、适应能力强的各种油封机械真空泵必将生产出来
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