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潽拓光电科技——维护和***（LEYBOLD T1600）

真空泵的维护时间用户根据工作环境而定。每日需维护事项：检查油味及油的颜色。真空泵油是光亮，清晰的。若油静止沉淀后混浊，且有不能消失的物质或油发黑，必须更换真空泵油。选择BPG400单一经济型封装，在低成本、可重复的过程中进行基础压力测量。油的寿命取决于工作环境。抽取干净，干燥的气体及温度在100℃的工作环境以下一般每隔500-2000工作小时必须更换油。

广州潽拓光电——Pfeiffer TMH262 涡轮分子泵是德国Pfeiffer Vacuum公司设计制造的一款分子泵，Pfeiffer T TMH262的转速为60000rpm, 其对应的频率为1000Hz，标准的Pfeiffer TMU261分子涡轮泵对应的极限真空为5.0*10-10mbar。LEYBOLD莱宝真空泵、真空泵维修及维修包耗材SV16/25D2。

都是基于德国DIN 28 428的测试标准，使用不锈钢CF接口，烘烤后48小时测得的。

Pfeiffer TMH262 涡轮分子泵对应的分子泵控制器为Pfeiffer TC600或Pfeiffer TC750（对应电压为48V DC）

，或者更高的配Pfeiffer TCP350。

广州潽拓光电——Pfeiffer普发 Vacuum SplitFlow 80 PM P04 010D Oil: PM 143 740-T S(N2):60L/s N:1500Hz F:90000l/min

Pfeiffer普发 Split Flow 80 Turbo Pump 是德国普发公司专门为氦质谱检漏仪设计的一款分流涡轮分子泵，请见Pfeiffer Split Flow 80。