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作者:潽拓光电2020/10/19 2:16:12





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Agilent TV301 Navigator分子泵为无油、无污染型,VARIAN分子泵代理,由于叶片转速限制,如果气体分子运动速度较大,泵抽真空就比较困难。

可以看出,涡轮分子泵也是一种机械式真空泵,分子泵的核心部件是旋转叶片和固定叶片。通过高速旋转的多级涡轮转子叶片和静止叶片的组合进行抽气的,在分子流区域内对被抽气体产生很高的压缩比,从而获得所需要的真空性能。

特点:

高可靠性,

免维护的陶瓷轴承:

无油,无污染;

平均无故障时间大大增加。

内置控制器可用采用导航控制

简单并节省空间的配置;

导航软件可以轻松地进行远程控制和监控。


分子泵的应用范围包括高能物理和研究、纳米技术、质谱技术、工业真空加工和半导体,并可用作扫描电子显微镜(SEM) 的专用泵。牵引分子泵的优点是启动时间短,在分子流态下有很高的压缩比,能抽除各种气体和蒸气,特别适于抽除较重的气体。 Varian TV-301 NAV turbo pump常见用在医*行业,质普议,各类检测仪器,大专院校,研究所的真空设备上.Varian TURBO Pump Controllers V-60 常见用于较老款半导体设备上. 牵引分子泵的优点是启动时间短,在分子流态下有很高的压缩比,能抽除各种气体和蒸气,特别适于抽除较重的气体


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