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SF6气体泄漏主要发生在以下部位：

1、 法兰盘间的密封渗漏六氟化硫；

2、 压力表接头及密度继电器接头渗漏六氟化硫；

3、 瓷套与法兰盘浇注处SF6泄漏；

4、 密度继电器接线柱SF6渗漏；

5、 阀门内部波纹管SF6漏气；

6、 本体下部传动拉杆密封处六氟化硫渗漏；

7、 GIS外壳渗漏六氟化硫；

8、 GIS操作机构与本体间的传动拉杆动密封处泄漏SF6；

9、 GIS设备的CT二次引出线接线柱六氟化硫泄漏。

目前红外双波光谱原理检测SF6气体是较有效的检测方法，而且在交接及大修时，必要时要使用的仪器。每年要检测开关泄漏情况并作出相应每年泄漏量多少的报告是必不可少的工作流程。为了防止SF6(六氟化硫)开关的爆开，及人身安全(房间内超过1000PPM的SF6气体会使人缺氧窒息)。另外为了避免因为SF6开关产生的故障而大范围停电。