动力洗刷

用气动或者电动的毛刷将脏污刷动，然后污物用和气体冲洗相同的方法和方向被吸到真空收集器中。这种方法要求尽可能的小心不至于***保温资料的外表。

气体冲洗

这种方法借助连接到风管的配有喷嘴的软管以输送压缩空气。设计喷嘴使得压缩空气能够把尘土和污物驱赶进来。而被压缩空气去干的污物和尘土则顺着风管被输送到真空集容器中。

复合风管特点如下：

1、保温性强。

2、制作和安装较容易，省工省时，现场修改也比较方便。

3、隔音效果好，无噪音。

4、内层不生锈，空气质量好，外观美观。

复合风管在实际的应用中还是有很多点需要大家引起注意的，从成本上考虑，管道的高宽比例应该小于1:3，在设计的过程中也要尽量减少特出部位的数量。对风管安装的持久性影响是密封材料，要挑选使用符合复合风管要求的配件，并按照要求来操作。在安装的过程中也要尽量小心，以避免造成损失。

因此将废气以一般风车抽至大气排放至大气环境而不需处理。酸碱性排气：其主要来源于化学清洗工作站，清洗晶片时所产生之挥发性气体，此气体部分含有浓烟，部分则对呼吸系统有刺激性作用******，故必须经过水洗中和处理，再由风机排入大气。

排气：其主要来源于涂胶、显影工序和各工序使用清洗过程时所产生，需经有机废气处理设备处理后，再由风机排入大气。