2）使用时，首先要做外部检查，检查***是瓶阀、按管螺纹、减压器等。如果发现有漏气、滑扣、表针动作不灵或“爬高“等，应及时维修，切忌随便处理。禁止带压拧紧阀杆，调整垫料。检查漏气时应用肥皂水，不得使用明火。气瓶与电焊在同一场使用时，瓶底应垫上绝缘物，以防气瓶带电。高纯氮在外延、光刻、清洗和蒸发等工序中，作为置换、干燥、贮存和输送用气体。与气瓶接触的管道和设备要有接地装置，防止由于产生静电造成燃烧或爆l炸。冬季使用电瓶时，瓶阀或减压器可能出现结霜现象，或用热水或蒸汽解冻，严禁用火烘烤或用铁器敲击瓶阀，也不能猛拧减压器的调节螺丝，以防气体大量冲出造成事故。

7.内表面处理

为了进一步改善管道材料特性，对管道内表面进行处理，一般有三种方法：酸洗钝化（AP），光亮退火（BA）和电解抛光（EP）处理。试验资料和实践都证明，通过表面处理后。管道材料的粗糙度减小。出气速率降低。表面吸附性减弱。

8.管道材料及连接

纯度在99.99％以内的气体管道，采用10#或20#无缝钢管（内表面镀锌或纯化处理）、铜管。镀锌管道采用螺纹连接。总杂质含量≤10—100ppm的气体管道，采用304不锈钢光亮退火管（304BA）、304不锈钢管纯化处理（304AP）、紫铜管。管道采用焊接连接，可以采用对接焊、承插焊或套管焊接。总杂质含量≤1-1oppm的气体管道，采用316L不锈钢光亮退火管（316LBA）、316L不锈钢电抛光管（304EP）。管道连接采用焊接， 内壁无瘢痕的对接焊，高纯***气保护焊。高纯气体对于不同类别的气体，纯度指标不同，例如对于氮，氢，氦而言，通常指纯度等于或高于99。总杂质含量≤lppm的高纯气体管道，必须采用316L不锈钢电抛光管（3l6LEP）。管道连接采用焊接，内壁无瘢痕的对接焊，高纯***气保护焊，在专用的洁净室内进行。

三氟化氮在常温下是一种无色、无臭、性质稳定的气体，是一种强氧化剂。三氟化氮在微电子工业中作为一种优良的等离子蚀刻气体，在离子蚀刻时裂解为活性氟离子，这些氟离子对硅和钨化合物，高纯三氟化氮具有优异的蚀刻速率和选择性（对氧化硅和硅），它在蚀刻时，在蚀刻物表面不留任何残留物，是非常良好的清洗剂，同时在芯片制造、高能激光器方面得到了大量的运用。氢气的纯度不够也会导致氢气爆l炸，高纯氢气只会燃烧，而不会发生爆l炸。