高纯氮气现场生产装置采用低温工艺流程，生产过程中将有冷量损失，有的高纯氮气生产装置为此配备了气体膨胀机产生低温以补偿冷量损失；有的高纯氮气生产装置虽然采用的仍是低温精馏流程，但摒弃了补偿冷量的机械设备膨胀机，取而代之的是采用外部的液氮直接补偿的所需的低温含量。总杂质含量≤lppm的高纯气体管道，必须采用316L不锈钢电抛光管（3l6LEP）。这种无膨胀机的高纯氮气生产装置因减少了机械故障而提高了装置运行的可靠性。无膨胀机的高纯氮气生产装置的液氮补充量约占高纯氮气产量的3%左右 整套高纯氮气现场生产装置除 了空气压缩机、热部、冷箱之外，还有一个重要的部分即液氮（或高纯液氮）系统。这个液氮（或高纯液氮）系统有三个功能；可补偿生产过程中的冷损；用气量的调峰，氮气生产装置停机是产品气的备用。

高纯氧气镁在高温下具有优良的耐碱性和电绝缘性，热膨胀系数和导热率高具有良好的光透过性，广泛用作高温耐热材料。测试系统（载气系统与样品气系统）带来的或被漏入的（以氧、氮为主）该杂质气。在陶瓷领域用作透光性陶瓷坩埚、基板等的原料在电气材料、电气领域用于磁性装置填料、绝缘材料填料及各种载体。用作陶瓷基板比氧化铝导热率高2倍多，电解质的损失仅为氧化铝的1/10。亦可作高纯电熔镁砂的原料，在化学上可作为“分析纯”氧化镁。

高纯度气体的管道输送，将高纯气体送至用气点，并保持质量合格的关键是供气系统设计合理、管件及附件选择正确、施工安装正确和试验检测合格。冬季使用电瓶时，瓶阀或减压器可能出现结霜现象，或用热水或蒸汽解冻，严禁用火烘烤或用铁器敲击瓶阀，也不能猛拧减压器的调节螺丝，以防气体大量冲出造成事故。高纯气体管道输送管道，要根据工艺过程对气体纯度、允许的杂质含量、微粒含量等的要求不同，采用相应质量的管材。比如半导体产业因其生产工艺复杂、加工精细，它不仅要求有洁净的生产环境，而且对生产过程中所需的各种高纯气体有特定的、严格的要求，从微米技术进入亚微米、深亚微米（小于O.35g.m）技术，对气体中的杂质含量、水含量要求极为严格，10 （ppm级）已经不能达到要求，需要达到10 （ppb级），甚至10一~2（ppt级），尘埃粒径要求控制到0.05-0。Olla,m。因此输送管道本身的管道材料特性适应高纯、超高纯气体的要求成为必须。