{洁净室检测}

在HEPA过滤器的进风侧（上游侧）引入PAO气溶胶，对空气净化系统检漏可直接把PAO烟雾放入空调器内，注意不要被空调器内的过滤器吸附。对线性读数光度计来说，气溶胶发尘的浓度为10-100μg/L。浓度低于20μg/L时，检漏的灵敏度欠佳；高于80μg/L时，长时间检测会过度污染过滤器。所以过滤器上风侧发放的浓度一般为20-30μg/L即可。调节气溶胶发生器输出

阀的开合度，直至确认上游浓度达到20-30μg/L，并保持相对稳定。设定100%基准。但若气溶胶的量发生小，达不到规定的浓度，可将发生器放在被测HEPA系统风机箱送风段内。对于FFU层流罩和生物安全柜等可用4B发生器，将气溶胶引入过滤器的上游。然后用光度计的采样头扫描过滤器的出风侧以及支架。按ISO14644描述：扫描时速度约2cm/s，扫描按直线来回往复地进行，扫描的覆盖面之间略有重叠。采样探头距过滤器出风面和框架结构约3cm。扫描应遍及过滤器的整个出风面、过滤器周边、过滤器边框与安装架构之间的密封处及安装架构的结合点。当上游浓度正确，洁净厂房检测标准，连10-4μg/L的微小渗漏都可在光度计上反映出来。泄漏处经用环氧树脂硅胶堵漏或螺栓紧固以后再进行扫描巡检，仪表指示为“0”，洁净厂房检测，表明漏点已被堵住。一般检查一个过滤器在3-5分钟内就可完成。

{洁净室检测}

洁净室的发尘源

洁净室内的发尘源主要来自于洁净室内操作人员，洁净室的围护和洁净室内生产工艺设备和生产过程的产尘。

① 洁净室内作业人员的产尘。一般电子装配工艺穿全身型洁净工作服轻微动作时，洁净厂房检测公司，人员的产尘量为3.5~5×105个/人·分（≥0.5μm）。是洁净室内的主要的发尘源。

② 洁净室围护和室内表面的产尘。一般认为洁净室单位建筑面积产尘为3~5.0×104 个/m2·分（≥0.5μm）。可见10平方米建筑产尘只相当一个作业人员的产尘量。

③ 生产设备和生产过程的产尘：这一产尘量与设备和生产过程本身有直接关系。不同设备、不同生产工艺的产尘量差别极大。在日本的资料介绍，一台电动机的产尘量大约为4.5~45×104个/台·分（≥0.5μm）。

洁净室（区）的管理要求

（１）洁净室（区）内人员数量应严格控制．　其工作人员（包括维修、辅助人员应

定期进行卫生和微生物学基础知识、洁净作业等方面的培训及考核；对进入洁净室（区）的临时外来人员应进行指导和督促．

（２）洁净室（区）与非洁净室（区）之间必须设置缓冲设施，人、物走向合理．

（３）100级洁净室（区）内不得设置地漏，操作人员不应裸手操作，当不可避免时，手部应及时消毒．

（４）10，000级洁净室（区）使用的传输设备不得穿越较低级别区域．

（５）100，000级以上区域的清洁工作服应在洁净室（区）内洗涤、干燥、整理，必要时应按要求灭菌．

（６）洁净室（区）内设备保温层表面应平整、光洁、不得有颗粒性物质脱落．

（７）洁净室（区）内使用无脱落物、易清洗、易消毒的卫生工具，卫生工具要存放于对产品不造成污染的地点，并应限定使用区域．

（８）洁净室（区）在静态条件下检测的尘埃粒子数、浮游菌数或沉降菌数必须符合规定，应定期监控动态条件下的洁净状况．

（９）洁净室（区）的净化空气如可循环使用，应采取有效措施避免污染和交叉污染．

（１０）空气净化系统应按规定清洁、维修、***并作记录．

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