{高效空气过滤器检漏}方法

——高空气过滤器检漏检测方法——

气溶胶光度计测试法

气胶光度计测试法是最早期的测试方式，但是因为效果非常好，到今天仍旧沿用。气胶光度计（ Aerosol Photometer ）是微粒计数器的一种，也是使用雷射科技，但是它在扫描空气样本的微粒之后，所给的是微粒的总体强度，不是微粒数目。 DOP 是一种油性化学物质，现改用PAO,加压或加热雾化之后，可以产生次微米等级的微粒，可用来模拟无尘室的微粒，因此被当成验证微粒。静态洁净室的检测(OQ)本阶段的检测至少应完成下列各项工作:1、确认洁净区划分原则是否符合要求。 微粒计数器测试法

半导体业方面，早期也是使用 DOP/PAO 与气胶光度计，但是随着制造精密度增加，油性挑战微粒逐渐不容许在无尘室使用，因此出现使用干式灰尘当成挑战微粒，在上游施放，然后用微粒计数器在下游扫描，寻找泄漏，基本概念完全相同。经过科学家一步步研究结果，发现 PSL 因为微粒的粒径与浓度可以控制，因此是目前最广为使用的标准微粒。2、一切能源载体和工艺介质的供应(水、电、蒸汽、压缩空气、气体等)是否符合设计。使用时只要把 PSL 溶液雾化，导入滤网上游即可

{洁净室}电子洁净厂房

——电子洁净厂房——

《电子工业洁净厂房设计规范》、《洁净厂房设计规范》、《洁净室施工及验收规范》等相关国家标准，要求电子工业洁净厂房应满足需洁净环境的电子产品生产工艺要求，确保质量，应为施工安装、调试检测和安全运行、维护管理创造必要的条件，它们对生产区的洁净环境和直接与产品生产过程接触的各类介质都有一定的要求。

检测项目：风量（换气次数）、风速、压差（静压差）、温度、相对湿度、照度、噪声、高效空气过滤器检漏、气流流型、悬浮粒子（空气洁净度等级）等。滤网出厂前当然要经过泄漏测试，但是在搬运与安装过程难保完全无损，而且滤网的重要性又大于一切，因此安装完毕都要做一次扫描，以确认滤材无任何泄漏。

洁净室检测

一、目的:在生产过程中做好卫生监测与管理，防止交叉污染，对产品质量起到重要的作用，因此特质定无尘洁净室洁净区工艺卫生管理制度。

二、范围:适用于洁净车间的人，物流及车间的环境，设施洁净有关的其它元素的管理

三、工作程序:

1、进入洁净区工作的人员须经过体检，取得健康证后才能上岗，每年复查一次，如果不合格者，必须调出，患有感冒的工作人员不得进入洁净区工作。

2、洁净区每个人所占面积不得少于4平方米

3、洁净区内工作服管理见《洁净区工作服管理制度》

4、每天下班后洁净车间要用紫外灯消毒60分钟，并填好"紫外灯消毒记录"每月用甲醛熏蒸一次，时间半个小时，并填写"熏蒸消毒记录"

5、人出入洁净区必须按以下程序和要求进行。

人进-------换鞋-----脱外衣------洗手------穿洁净服-------手消毒-------风林

洁净区------出门口------脱洁净服-------穿外衣-----换鞋-------人出