{洁净室检测}范围和要求

——洁净室检测范围——

一般包括：洁净室环境等级评定、工程验收检测，包括食品、化妆品、桶装水、牛奶生产车间、电子产品产车间、GMP车间、******室、动物实验室、生物安全实验室、生物安全柜、超净工作台、无尘车间、无菌车间等。

——检测项目——

风速风量、换气次数、温湿度、压差、悬浮粒子、浮游菌、沉降菌、噪声、照度等。具体可以参考洁净室检测相关标准.

{***过滤器检漏}的测试方法

——***过滤器检漏——

一、说明

过滤网的泄漏测试应当是无尘室测试中，***复杂、***耗时间的测量项目。泄漏测试的目的，是要确认：

1. 滤网的材料无破损，

2. 安装恰当。

滤网出厂前当然要经过泄漏测试，但是在搬运与安装过程难保完全无损，而且滤网的重要性又大于一切，因此安装完毕都要做一次扫描，以确认滤材无任何泄漏。另外，若是安装不恰当，微粒会从边框漏进无尘室风口。就算是 FFU 系统，天花板上是负压，若是边框机有微粒日后仍旧会产生问题。应检查表面洁净度及维护结构的密闭性(对ISO1级~ISO5级的洁净室特别重要)。因此，边框扫描一样重要。 滤网泄漏测试基本上是利用滤网上游的颗粒，然后在滤网下表面与边框用微粒探测仪器搜寻有无泄漏。泄漏测试有几种不同的方式，适用在不同的场合。

{***空气过滤器检漏}方法

——高空气过滤器检漏检测方法——

气溶胶光度计测试法

气胶光度计测试法是***早期的测试方式，但是因为效果非常好，到今天仍旧沿用。气胶光度计（ Aerosol Photometer ）是微粒计数器的一种，也是使用雷射科技，但是它在扫描空气样本的微粒之后，所给的是微粒的总体强度，不是微粒数目。 DOP 是一种油性化学物质，现改用PAO,加压或加热雾化之后，可以产生次微米等级的微粒，可用来模拟无尘室的微粒，因此被当成验证微粒。2m左右，送风口测点位置离开送风面30cm左右，关键设备或关键工作活动范围处可增加测点，每个采样点一般采样一次。 微粒计数器测试法

半导体业方面，早期也是使用 DOP/PAO 与气胶光度计，但是随着制造精密度增加，油性挑战微粒逐渐不容许在无尘室使用，因此出现使用干式灰尘当成挑战微粒，在上游施放，然后用微粒计数器在下游扫描，寻找泄漏，基本概念完全相同。经过科学家一步步研究结果，发现 PSL 因为微粒的粒径与浓度可以控制，因此是目前***广为使用的标准微粒。——洁净室检测范围——一般包括：洁净室环境等级评定、工程验收检测，包括食品、化妆品、桶装水、牛奶生产车间、电子产品产车间、GMP车间、******室、动物实验室、生物安全实验室、生物安全柜、超净工作台、无尘车间、无菌车间等。使用时只要把 PSL 溶液雾化，导入滤网上游即可