{洁净室}电子洁净厂房

——电子洁净厂房——

《电子工业洁净厂房设计规范》、《洁净厂房设计规范》、《洁净室施工及验收规范》等相关***标准，要求电子工业洁净厂房应满足需洁净环境的电子产品生产工艺要求，确保质量，应为施工安装、调试检测和安全运行、维护管理创造必要的条件，它们对生产区的洁净环境和直接与产品生产过程接触的各类介质都有一定的要求。——电子厂房检测——随着科学技术的发展，电子产品生产日新月异，以微电子产品为代表的各种电子产品生产技术发展迅速。

检测项目：风量（换气次数）、风速、压差（静压差）、温度、相对湿度、照度、噪声、***空气过滤器检漏、气流流型、悬浮粒子（空气洁净度等级）等。

{洁净室检测}

在HEPA过滤器的进风侧（上游侧）引入PAO气溶胶，对空气净化系统检漏可直接把PAO烟雾放入空调器内，注意不要被空调器内的过滤器吸附。一般测试适用于处于空态的交竣验收测试，综合测试适用于静态或动态的综合性能测试。对线性读数光度计来说，气溶胶发尘的浓度为10-100μg/L。浓度低于20μg/L时，检漏的灵敏度欠佳；高于80μg/L时，长时间检测会过度污染过滤器。所以过滤器上风侧发放的浓度一般为20-30μg/L即可。调节气溶胶发生器输出

阀的开合度，直至确认上游浓度达到20-30μg/L，并保持相对稳定。设定100%基准。——洁净室检测之温湿度检测——洁净室或洁净设施温、湿度测定，通常分为两个档次：一般测试和综合测试。但若气溶胶的量发生小，达不到规定的浓度，可将发生器放在被测HEPA系统风机箱送风段内。对于FFU层流罩和生物安全柜等可用4B发生器，将气溶胶引入过滤器的上游。然后用光度计的采样头扫描过滤器的出风侧以及支架。按ISO14644描述：扫描时速度约2cm/s，扫描按直线来回往复地进行，扫描的覆盖面之间略有重叠。采样探头距过滤器出风面和框架结构约3cm。扫描应遍及过滤器的整个出风面、过滤器周边、过滤器边框与安装架构之间的密封处及安装架构的结合点。当上游浓度正确，连10-4μg/L的微小渗漏都可在光度计上反映出来。泄漏处经用环氧树脂硅胶堵漏或螺栓紧固以后再进行扫描巡检，仪表指示为“0”，表明漏点已被堵住。一般检查一个过滤器在3-5分钟内就可完成。

洁净室检测

一、无尘洁净室是指将一定空间范围内之空气中的微粒子、***等之污染物排除，并将室内之温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内，而所给予特别设计建成的无尘洁净房间。

二、无尘洁净室的原理。压差的测试应在所有的门都关闭的条件下，由高压向低压、由平面布置上与外界***远的里间房间开始，依次向外测试。洁净室是利用HEPA、空气净化设备，其尘埃的收集率达99.97~99.99995%之多，因此经过此过滤器过滤的空气可说十分干净。然而洁净室内除了人以外，尚有机器等之发尘源，这些发生的尘埃一旦扩散，即无法保持洁净空间，因此必须利用气流将发生的尘埃迅速排出室外。

二、无尘洁净室的原理。(3)对于空气洁净度等级严于5级(100级)的单向流洁净室在开门时，门内0。洁净室是利用HEPA、空气净化设备，其尘埃的收集率达99.97~99.99995%之多，因此经过此过滤器过滤的空气可说十分干净。然而洁净室内除了人以外，尚有机器等之发尘源，这些发生的尘埃一旦扩散，即无法保持洁净空间，因此必须利用气流将发生的尘埃迅速排出室外。