{洁净室检测}

洁净室的发尘源

洁净室内的发尘源主要来自于洁净室内操作人员，洁净室的围护和洁净室内生产工艺设备和生产过程的产尘。

① 洁净室内作业人员的产尘。一般电子装配工艺穿全身型洁净工作服轻微动作时，人员的产尘量为3.5~5×105个/人·分（≥0.5μm）。是洁净室内的主要的发尘源。

② 洁净室围护和室内表面的产尘。一般认为洁净室单位建筑面积产尘为3~5.0×104 个/m2·分（≥0.5μm）。可见10平方米建筑产尘只相当一个作业人员的产尘量。

③ 生产设备和生产过程的产尘：这一产尘量与设备和生产过程本身有直接关系。不同设备、不同生产工艺的产尘量差别极大。在日本的资料介绍，一台电动机的产尘量大约为4.5~45×104个/台·分（≥0.5μm）。

——气流***——

为了特定目的而在室内造成一定的空气流动状态与分布，通常叫做气流***。一般来说，空气自送风口进入房间后首先形成射入气流，流向房间回风口的是回流气流，在房间内局部空间回旋的则是涡流气流。为了使工作区获得低而均匀的含尘浓度，洁净室内***气流的基本原则是：限度地减少涡流；对任何小洁净室或局部空气净化区域，采样点的数目都不得少于2个，总采样数可根据面积开2次根求得。使射入气流经过短流程尽快覆盖工作区，希望气流方向能与尘埃的重力沉降方向一致；使回流气流有效地将室内灰尘排出室外。

气流***分为三种类型：

单向流：沿单一方向呈平行流线并且横断面上风速一致的气流(以前也称层流)。

非单向流 ：凡不符合单向流定义的气流（以前也称乱流）。

混合流：单向流和非单向流组合的气流。

可见洁净车间与一般的空调车间相比是完全不同的。空调车间为了获得均匀的温度、湿度而用紊流度大的气流方式，使射流同室内原有空气混合，并把工作区置于空气得到混合后的回流区内。

——空气净化系统的验证——

由测试仪器校准、安装确认、运行确认、洁净室检测等几方面组成。

空气净化系统安装确认的内容

1、空气处理设备的确认。

2、风管制作、安装的确认。

3、风管及空调设备清洁的确认。

4、空调设备所用的仪表、测试仪器一览表及检定报告。

5、空气净化系统操作手册、SOP及控制标准。

6、***过滤器的检漏试验。