{***空气过滤器检漏}方法

——高空气过滤器检漏检测方法——

气溶胶光度计测试法

气胶光度计测试法是***早期的测试方式，但是因为效果非常好，到今天仍旧沿用。气胶光度计（ Aerosol Photometer ）是微粒计数器的一种，也是使用雷射科技，但是它在扫描空气样本的微粒之后，所给的是微粒的总体强度，不是微粒数目。 DOP 是一种油性化学物质，现改用PAO,加压或加热雾化之后，可以产生次微米等级的微粒，可用来模拟无尘室的微粒，因此被当成验证微粒。气胶光度计（AerosolPhotometer）是微粒计数器的一种，也是使用雷射科技，但是它在扫描空气样本的微粒之后，所给的是微粒的总体强度，不是微粒数目。 微粒计数器测试法

半导体业方面，早期也是使用 DOP/PAO 与气胶光度计，但是随着制造精密度增加，油性挑战微粒逐渐不容许在无尘室使用，因此出现使用干式灰尘当成挑战微粒，在上游施放，然后用微粒计数器在下游扫描，寻找泄漏，基本概念完全相同。经过科学家一步步研究结果，发现 PSL 因为微粒的粒径与浓度可以控制，因此是目前***广为使用的标准微粒。2、与使用条件例如洁净室的使用有较大差异(如改变工艺流程等)。使用时只要把 PSL 溶液雾化，导入滤网上游即可

{洁净室检测}

洁净室的发尘源

洁净室内的发尘源主要来自于洁净室内操作人员，洁净室的围护和洁净室内生产工艺设备和生产过程的产尘。

① 洁净室内作业人员的产尘。一般电子装配工艺穿全身型洁净工作服轻微动作时，人员的产尘量为3.5~5×105个/人·分（≥0.5μm）。是洁净室内的主要的发尘源。

② 洁净室围护和室内表面的产尘。一般认为洁净室单位建筑面积产尘为3~5.0×104 个/m2·分（≥0.5μm）。可见10平方米建筑产尘只相当一个作业人员的产尘量。

③ 生产设备和生产过程的产尘：这一产尘量与设备和生产过程本身有直接关系。不同设备、不同生产工艺的产尘量差别极大。在日本的资料介绍，一台电动机的产尘量大约为4.5~45×104个/台·分（≥0.5μm）。

1、空气过滤

1)空气过滤器是当前空气净化重要的手段。所有送入洁净室的空气应经初效、中效、***或亚***过滤器的过滤。

2)初效过滤器主要用作对新风及大颗粒尘埃的控制，主要过滤对象是＞10μm的尘粒；中效及高中效过滤器主要用作对末级过滤器的预过滤和防护，主要处理对象是1～10μm尘粒；2m左右，送风口测点位置离开送风面30cm左右，关键设备或关键工作活动范围处可增加测点，每个采样点一般采样一次。亚***过滤器用作终端过滤器或作为***过滤器的预过滤，主要处理对象＜5μm的尘粒；***过滤器作为送风及排风处理的终端过滤，主要过滤＜1μm的尘粒。

(1) 空气过滤器的性能

空气过滤器的性能有风量、过滤效率、空气阻力和容尘量等指标，它们是评价空气过滤器的四项主要指标。总的来说希望过滤器的效率高、阻力小而容尘量大。

(2) 过滤器在空气净化系统中的应用

1.在空气净化系统中从吸入新风开始，一般分为三级过滤：一级使用初效过滤器，第二级使用中效或亚***过滤器，第三级使用***过滤器。