{洁净室检测}

——***过滤器检漏目的——

为了通过测出允许的泄漏量，发现***过滤器及其安装的缺陷所在，以便采取补救措施。在洁净室中，***过滤器是实现高洁净度空气净化的关键设备。现代电子产品要求微型化、高纯度、高质量和高可靠性，以人们熟悉的手机、笔记本电脑为例，它所使用的集成电路、电子元器件以及其组装的生产过程都要求在受控环境条件下进行操作，其中以集成电路生产过程对受控环境的要求尤为严格。100000级(D级)或8级以上洁净度级别的洁净室普遍采用***过滤器（HEPA)，但***过滤器安装后能否达到设计要求，在很大程度上取决于HEPA的安装质量。在实践中有许多洁净室其设计是合理的，但工程安装结束后却未达到预定的效果，检测发现不是污染粒子超标，就是***数超标，并且还往往找不出真正原因。其实此类事情的发生，往往是由于HEPA过滤器安装不合理引起的。

洁净室检测

管理规范:

1、进入洁净室的管理，包括对洁净室工作人员进入，物料进入，各类设备的搬

入以及相关的设备，管线的维护管理，应做到不得将微粒，微生物带人洁净室

2、操作管理技术，对洁净室内人员用洁净工作的制作，穿着和其清洗，操作人员的移动和动作，室内设备及装修材料的选择和清扫，灭菌等，尽可能减少，防止洁净室内尘粒，微生物的产生，滞留，繁殖等

3、严格各类设备，设施的维护管理，制定相应的操作规程，保证各类设备，设施按要求正常运转，包括净化系统，各类水，气，电系统，生产工艺设备和工具(工具夹)等，以确保产品生产工艺要求和空气洁净度级别

4、清扫，灭菌管理，对洁净室内的各类设备，设施的清扫，灭菌以及方法，周期和检查明确的规定，防止，梢除洁净室内尘粒，微生物的生产，滞留，繁殖

组成系统作用过滤器

过滤器的基本知识

过滤器是洁净室的主要净化设备，是空气净化的主要手段。因此，对于从事洁净室设计、建造和维护管理人员了解和掌握过滤器的基本知识是十分重要的。

1.过滤器的分类

按过滤器的性能(效率、阻力、容尘量)来划分，通常将其划分成粗效、中效、高中效、亚***、***(HEPA)和超***(ULPA)六类过滤器。

我国***标准《空气过滤器》GB/T14295-93中将不同过滤器的效率和阻力规定如下:

***标准《***空气过滤器》GB13554-92中规定将***过滤器按性能划分为A、B、C、D四类。D类又通称为超***过滤器(或称为0.1μm***过滤器或超低透过率过滤器)。