洁净室检测

一、目的:在生产过程中做好卫生监测与管理，防止交叉污染，对产品质量起到重要的作用，因此特质定无尘洁净室洁净区工艺卫生管理制度。

二、范围:适用于洁净车间的人，物流及车间的环境，设施洁净有关的其它元素的管理

三、工作程序:

1、进入洁净区工作的人员须经过体检，取得健康证后才能上岗，每年复查一次，如果不合格者，必须调出，患有***的工作人员不得进入洁净区工作。

2、洁净区每个人所占面积不得少于4平方米

3、洁净区内工作服管理见《洁净区工作服管理制度》

4、每天下班后洁净车间要用紫外灯消毒60分钟，并填好'紫外灯消毒记录'每月用甲醛熏蒸一次，时间半个小时，并填写'熏蒸消毒记录'

5、人出入洁净区必须按以下程序和要求进行。

人进-------换鞋-----脱外衣------洗手------穿洁净服-------手消毒-------风林

洁净区------出门口------脱洁净服-------穿外衣-----换鞋-------人出

{洁净室检测}

在HEPA过滤器的进风侧（上游侧）引入PAO气溶胶，对空气净化系统检漏可直接把PAO烟雾放入空调器内，注意不要被空调器内的过滤器吸附。对线性读数光度计来说，洁净室照度，气溶胶发尘的浓度为10-100μg/L。浓度低于20μg/L时，检漏的灵敏度欠佳；高于80μg/L时，长时间检测会过度污染过滤器。所以过滤器上风侧发放的浓度一般为20-30μg/L即可。调节气溶胶发生器输出

阀的开合度，直至确认上游浓度达到20-30μg/L，并保持相对稳定。设定100%基准。但若气溶胶的量发生小，达不到规定的浓度，可将发生器放在被测HEPA系统风机箱送风段内。对于FFU层流罩和生物安全柜等可用4B发生器，将气溶胶引入过滤器的上游。然后用光度计的采样头扫描过滤器的出风侧以及支架。按ISO14644描述：扫描时速度约2cm/s，扫描按直线来回往复地进行，扫描的覆盖面之间略有重叠。采样探头距过滤器出风面和框架结构约3cm。扫描应遍及过滤器的整个出风面、过滤器周边、过滤器边框与安装架构之间的密封处及安装架构的结合点。当上游浓度正确，连10-4μg/L的微小渗漏都可在光度计上反映出来。泄漏处经用环氧树脂硅胶堵漏或螺栓紧固以后再进行扫描巡检，仪表指示为“0”，表明漏点已被堵住。一般检查一个过滤器在3-5分钟内就可完成。

——高空气过滤器检漏检测方法——

气溶胶光度计测试法

气胶光度计测试法是***早期的测试方式，洁净室检测，但是因为效果非常好，到今天仍旧沿用。气胶光度计（ Aerosol Photometer ）是微粒计数器的一种，也是使用雷射科技，但是它在扫描空气样本的微粒之后，所给的是微粒的总体强度，不是微粒数目。 DOP 是一种油性化学物质，现改用PAO，加压或加热雾化之后，可以产生次微米等级的微粒，可用来模拟无尘室的微粒，因此被当成验证微粒。 微粒计数器测试法

半导体业方面，洁净室换气次数，早期也是使用 DOP/PAO 与气胶光度计，但是随着制造精密度增加，洁净室，油性挑战微粒逐渐不容许在无尘室使用，因此出现使用干式灰尘当成挑战微粒，在上游施放，然后用微粒计数器在下游扫描，寻找泄漏，基本概念完全相同。经过科学家一步步研究结果，发现 PSL 因为微粒的粒径与浓度可以控制，因此是目前***广为使用的标准微粒。使用时只要把 PSL 溶液雾化，导入滤网上游即可

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