标准气体充装前，应该对气瓶严厉处理

1、气瓶是否过期、作废，是否现已运用；（如过期、作废、未运用不得充装）

2、检查水压记载

3、瓶瓶身是否无缺；（如无显着裂痕，凹陷或凸起不得充装）

4、是否有本单位的气瓶信息化标识（电子标签或二维条码）；（如没有，不得充装）

5、瓶阀是否损坏或漏气；（如损坏或漏气不得充装）

6、气瓶保压测验。（如气瓶不保压，不得充装）

气瓶预处理 检查合格的气瓶，接入烘箱内，标准气体哪家好，进行加热抽空处理（一般为80℃，8小时），主要目的是为除去瓶内水分，完成后接入抽真空汇流排，用所需制造气体的稀释气，对气瓶进行屡次冲刷及抽真空，去除瓶内其它气体杂质成分

电子混合气体和计量学上的标准气体有许多相似的特点，但又有许多不同，电子混合气体除了要保证其配制浓度的高精度外，更需要气体具有优良的品质，换言之，电子混合气体必须要确保混合好的气体中含有的***杂质不能高于某值。在8in以上的IC生产线，也应对混合气体中含有的颗粒物进行控制和定值。

1、电子混合气体的气瓶处理

同其他气体不同，对盛装电子混合气体的气瓶的要求十分严格，否则，标准气体，即便是混合气体配制的准确度再高，标准气体厂家，稳定性再好也无法使用。

首先混合气体的气瓶几何尺雨如体积、直径、瓶高度要满足用户要求。在半导体等领域，气瓶通常安放在气瓶柜内使用，气瓶柜的尺寸及连接的管阀件确定后，气瓶的高矮胖瘦就不能随心所欲了。对于不同种类的混合气在气瓶色标、警示标志等方面国外已有极其详细的标准，如美国的CGA、欧盟的ISO等，我们***在此方面仍在认识和完善中。

2、电子混合气体配制装置技术要求

同其他标准气体制备不同的是，配制电子混合气体的装置似乎更为复杂，电子混合气体配气装置所用的管路必须是EP级别，材质为316L，精密压力表或压力传感器精度优于0.25级，材质316L。为确保配制装置不产生污染使用前要求系统。

配置标准气体的一般流程图是，下配气单、处***瓶、开始配置、配置完成、气瓶滚匀、仪器分析、误差在允许范围内合格否则微调或重配。这就是生产工艺流程，一般的周期也是根据流程来确定，由于各种标气的组分和浓度不同，河北标准气体，各气体性质之间也有差异，给客户确定周期就必须非常谨慎，一般两个组分的标准气体（气体性质稳定的）需要两个工作日内完成，而***或腐蚀性的标准气体（气体性质活跃）需要至少三个工作日到七个工作日内完成。

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