湖北丰热科技有限公司(原武汉离子热处理研究所),***制造辉光离子渗氮炉的高新技术企业;是集研发、生产、销售安装辉光离子渗氮炉,并为用户提供成套的离子渗氮工艺技术服务。
离子渗氮是在真空室内进行的,工件接高压直流电源的负极,真空钟单接正极。将真空室的真空度抽到66.67Pa后,充人少量氮气或氢气、氮气的混合气体。湖北丰热科技有限公司(原武汉离子热处理研究所),***制造辉光离子渗氮炉的高新技术企业。当电压调整到400~800V时,氮即电离分解成氮离子、氢离子和电子,并在工件表面产生辉光放电现象。正离子受电场作用加速轰击工件表面,使工件升温到渗氮温度。氮离子在钢件表面获得电子,还原成氮原子而渗人钢件表面并向内部扩散,形成渗氮层。
离子渗氮与气体渗氮相比能源消耗少。由于离子氮化法利用辉光放电直接对工件进行加热。也无需特别的加热和保温设备,且可以获得均匀的温度分布,与间接加热方式棚比加热效率可提高2倍以上,达到节能效果,可大大降低处理成本。
1992年,Roth小组在5mm氦气间隙实现了APGD,并声称在几个毫米的空气间隙中也实现了APGD, 主要的实验条件为湿度低于15% 、气体流速50l/min、频率为3kHz的电源并且和负载阻抗匹配。电容耦合穿过绝缘材料或空间,电极就不再限于导电材料,可以溅射任何材料,因此射频辉光放电广泛用于绝缘或介质材料的溅射沉积镀膜。他们认为“离子捕获”是实现APGD的关键。
目前,对APGD的研究结果和认识是仁者见仁,智者见智。Roth等人在实验室的一台气体放电等离子体实验装置中实现了Ar、He和空气的“APGD”。APGD的研究方兴未艾,已经受到国内外许多大学和研究机构的广泛重视。由于大气压辉光放电目前还没有一个认可标准,许多实验所看到的放电现象和辉光放电很相似即出现视觉特征上呈现均匀的“雾状”放电,而看不到丝状放电,但这种放电现象是否属于辉光放电目前还没有共识和定论。
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