辉光离子渗氮-丰热科技
作者:丰热科技2020/9/27 16:56:27






湖北丰热科技有限公司(原武汉离子热处理研究所),***制造辉光离子渗氮炉的高新技术企业;是集研发、生产、销售安装辉光离子渗氮炉,并为用户提供成套的离子渗氮工艺技术服务。

与气体渗氮相比渗氮***易于控制。通过调节氮、氧及其他(如碳、氧、硫等)气氛的比例,可自由地凋节化合物层的棚组成,从而获得预期的机械性能。


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将两个面积不相等的电极置于射频(例如13.56MHZ)辉光放电离子体中形成非对称放电,面积小的那个电容耦合阴极有可能形成并建立阴极靶表面的负偏压,并能产生溅射。?电容耦合型射频(RF)放电电极自给偏压的形成,可以防止绝缘层表面正电荷的积累,有助于射频放电的维持。阴极靶表面的“自生负偏压”的数值可以近似等于射频溅射电压的幅值,1高时可达千伏量级。


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次大气压下辉光放电(HAPGD)由于大气压辉光放电技术目前虽有报道但技术还不成熟,没有见到可用于工业生产的设备。而次大气压辉光放电技术则已经成熟并被应用于工业化的生产中。次大气压辉光放电可以处理各种材料,成本低、处理的时间短、加入各种气体的气氛含量高、功率密度大、处理。可应用于表面聚合、表面接枝、金属渗氮、冶金、表面催化、化学合成及各种粉、粒、片材料的表面改性和纺织品的表面处理。


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