湖北丰热科技有限公司(原武汉离子热处理研究所),***制造辉光离子渗氮炉的高新技术企业;是集研发、生产、销售安装辉光离子渗氮炉,并为用户提供成套的离子渗氮工艺技术服务。
旗下武汉离子渗氮研究所自1999年成立以来,即选择了,辉光离子渗氮炉作为主营产品,迄今已生产销售1200多台套各类辉光离子渗氮炉供国内外客户使用。APGD的研究也取得了一些进展,如He、Ne、Ar、Krypton惰性气体在大气压下基本实现了APGD,空气也已经实现了用眼睛看上去比较均匀的准“APGD”。公司是经***科学技术1部认定的“***火炬计划***高新技术企业”、是按高企认定新标准经湖北省高新技术企业认定管理工作协调小组认定的“高新技术企业”;
具有高能量的氮离子轰击工件表面,由动能转化为热能加热工件,同时氮离子吸取电子还原成原子被工件表面吸收并向内层扩散。1933年德国VonEngel首1次报道了研究结果,利用冷却的裸电极在大气压氢气和空气中实现了辉光放电,但它很容易过渡到电弧,并且必须在低气压下点燃,即离不开真空系统。离子轰击工件表面还产生阴极溅射,溅射出铁离子与氮离子化合形成氮化铁FeN,FeN重新附着在工件表面,然后分解为Fe2N和Fe3N并放出氮原子向工件内扩散
辉光离子氮化是利用辉光放电原理进行的。低压气体中显示辉光的气体放电(空气中的电子大概在1000对/cm3,由于高压放电现象在低气压状态下会产生辉光现象)现象。辉光放电是当气体越过电晕放电区后,若减小外电路电阻,或提高全电路电压,继续增加放电功率,放电电流将不断上升。同时辉光逐渐扩展到两电极之间的整个放电空间,发光也越来越明亮。当电子能f提高,也就是增强电场的操作参数,则能使电晕放电过渡到辉光放电。
?选用正弦波中频靶电源,由于波形的原因,靶面产生打弧的几率更低并优于双极性矩形波中频靶电源。离子渗碳后工件的硬度、疲劳强度、耐磨性等力学性能比采用传统渗碳方法所得力学性能都高,而且渗碳速度快,特别是对狭小缝隙和小孔能进行均匀的渗碳,渗碳层表面碳含量和渗层深度容易控制,工件不易氧化,表面洁净,耗电量低,无污染。更适合于对薄膜表面和膜层质量要求较高的溅射工艺。??一般来说,射频辉光放电与直流及中频交流脉冲辉光放电相比,可以在低一个数量级的气体压强状态下进行(例如,1.0×1-2Pa)。??
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