湖北丰热科技有限公司(原武汉离子热处理研究所),***制造辉光离子渗氮炉的高新技术企业;是集研发、生产、销售安装辉光离子渗氮炉,并为用户提供成套的离子渗氮工艺技术服务。
离子渗氮炉是将被处理的工件放置在真空容器中,在辉光放电条件下进行渗氮。离子渗氮炉是将被处理的工件放置在真空容器中,在辉光放电条件下进行渗氮。离子渗氮炉包括炉体、真空系统、供气系统、测温系统及控制系统所组成。
离子渗氮是在真空室内进行的,工件接高压直流电源的负极,真空钟单接正极。将真空室的真空度抽到66.67Pa后,充人少量氮气或氢气、氮气的混合气体。磁控靶的阴极接靶电源负极,阳极接靶电源正极,进入正常溅射时,一定是在气体放电伏-安特性曲线中的“异常辉光放电区段”?运行。当电压调整到400~800V时,氮即电离分解成氮离子、氢离子和电子,并在工件表面产生辉光放电现象。正离子受电场作用加速轰击工件表面,使工件升温到渗氮温度。氮离子在钢件表面获得电子,还原成氮原子而渗人钢件表面并向内部扩散,形成渗氮层。
法国的Massines小组、加拿大的Radu小组和俄罗斯的Golubovskii小组对APGD的形成机理也进行了比较深入的研究工作。Massines小组对氦气和氮气的APGD进行了实验研究和数值模拟 ,除了测量外加电压和放电电流之外,他们用***时间仅10ns的ICCD相机拍摄了时间分辨的放电图像,用时空分辨的光谱测量记录了放电等离子体的发射光谱,并结合放电过程的一维数值模拟,他们认为,氮气中的均匀放电仍属于汤森放电,而氦气中均匀放电才是真正意义上的辉光放电,或亚辉光放电。近年来,辉光放电在污水处理、灭菌消毒、聚合物材料表面改性、分析仪器离子源等方面也多有应用。他们还认为,得到大气压下均匀放电的关键是在较低电场下缓慢发展大量的电子雪崩。
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