钟罩式离子氮化炉电话
作者:丰热科技2020/9/15 9:04:10







湖北丰热科技有限公司(原武汉离子热处理研究所),***制造辉光离子渗氮炉的高新技术企业;是集研发、生产、销售安装辉光离子渗氮炉,并为用户提供成套的离子渗氮工艺技术服务。


旗下武汉离子渗氮研究所自1999年成立以来,即选择了,辉光离子渗氮炉作为主营产品,迄今已生产销售1200多台套各类辉光离子渗氮炉供国内外客户使用。从上个世纪末,国内许多单位如科罗纳实验室、清华大学、大连理工大学、华北电力大学、西安交通大学、华中科技大学、中科院物理所、河北师范大学等先后开始了对APGD的研究。公司是经***科学技术1部认定的“***火炬计划***高新技术企业”、是按高企认定新标准经湖北省高新技术企业认定管理工作协调小组认定的“高新技术企业”;



离子渗氮炉是将被处理的工件放置在真空容器中,在辉光放电条件下进行渗氮。离子渗氮炉是将被处理的工件放置在真空容器中,在辉光放电条件下进行渗氮。离子渗氮炉包括炉体、真空系统、供气系统、测温系统及控制系统所组成。

辉光离子氮化作为七十年代兴起的一种新型渗氮方法与一般的气体渗氮相比,辉光离子渗氮的特点有:渗氮速度较快,可适当缩短渗氮周期,离子氮化时间短,能缩短到气体氮化时间的1/3~2/3。1933年德国VonEngel首1次报道了研究结果,利用冷却的裸电极在大气压氢气和空气中实现了辉光放电,但它很容易过渡到电弧,并且必须在低气压下点燃,即离不开真空系统。渗氮层脆性小,离子氮化表面形成的白层很薄,甚至没有,另外引起的变形小,特别适宜于形状复杂的精密零件。

双极性脉冲中频靶电源一般带孪生靶或双靶运行。脉冲或正弦半波中频靶电源的单个脉冲的气体放电应与直流气体放电伏-安特性曲线异常辉光放电段及之前段的变化规律相符。两个靶的工作电压极性相反同时又不断互换极性,电压极性为负时的磁控靶发生溅射,极性为正时的那个磁控靶不产生溅射。??由于阴阳极间电场正负极性来回变化,使电子路径延长,与工作气体碰撞次数增加,故单个磁控靶承载同样功率(其它真空环境条件相同)时,选用双极脉冲中频靶电源比用纯直流靶电源和脉冲直流中频靶电源时,工作气体的离化几率和靶材的沉积速率均要高一些。??磁控靶阴极电压极性为负时,其单脉冲气体放电应与直流气体放电伏-安特性曲线异常辉光放电段及之前段的变化规律(趋势)相符。??


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