湖北丰热科技有限公司(原武汉离子热处理研究所),***制造辉光离子渗氮炉的高新技术企业;是集研发、生产、销售安装辉光离子渗氮炉,并为用户提供成套的离子渗氮工艺技术服务。
公司为国内早期从事***辉光离子渗氮炉设备生产的厂商,是国内辉光离子渗氮热处理行业龙头企业;湖北丰热科技有限公司其旗下有武汉离子渗氮研究所、武汉欣杰热处理有限公司。
辉光离子氮化是指利用辉光放电现象使工件表面渗入氮原子的热处理方法。采用专用的辉光离子氮化炉,以工件为阴极,炉体为阳极,当炉内真空度抽至(1~0.1Pa)后通入氨气,使真空室内压力约为66.65~1333.2Pa。
辉光离子氮化是利用辉光放电原理进行的。辉光放电是当气体越过电晕放电区后,若减小外电路电阻,或提高全电路电压,继续增加放电功率,放电电流将不断上升。同时辉光逐渐扩展到两电极之间的整个放电空间,发光也越来越明亮。当电子能f提高,也就是增强电场的操作参数,则能使电晕放电过渡到辉光放电。用于磁控溅射镀膜气体放电的交流电源主要有双极性脉冲(矩形波或正弦波)中频靶电源与射频靶电源两大类别。
溅射靶起辉放电后,当电源的输出脉冲的重复频率足够高时,由于真空腔体内的导电离子还没有完全被中和完毕,第二个(以后)重复脉冲的复辉电压与溅射靶的工作电压接近或相同。当电源输出脉冲的重复频率很低(例如几百HZ以下)或灭弧时间过长(大于100ms以上),溅射靶起辉放电后,由于真空腔体内的导电离子已基本被中和掉,第二个(以后)重复脉冲的复辉电压***至较高数值,与点火起辉时的高电压接近或相同。射频磁控溅射气体放电时等离子阻抗低,工作气体击穿点火电压和维持异常辉光放电电压比中频靶电源时又要降低很多(点火电压只有直流放电等离子辉光放电时的五分之一~八分之一)。??
版权所有©2025 产品网