湖北丰热科技有限公司(原武汉离子热处理研究所),***制造辉光离子渗氮炉的高新技术企业;是集研发、生产、销售安装辉光离子渗氮炉,并为用户提供成套的离子渗氮工艺技术服务。
1992年,Roth小组在5mm氦气间隙实现了APGD,并声称在几个毫米的空气间隙中也实现了APGD, 主要的实验条件为湿度低于15% 、气体流速50l/min、频率为3kHz的电源并且和负载阻抗匹配。他们认为“离子捕获”是实现APGD的关键。
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在射频辉光放电空间中,高频电子震荡已能产生足够的工作气体电离,对二次电子发射的依耐性减少了。射频磁控溅射气体放电时等离子阻抗低,工作气体击穿点火电压和维持异常辉光放电电压比中频靶电源时又要降低很多(点火电压只有直流放电等离子辉光放电时的五分之一~八分之一)。??
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离子渗氮是在低真空含氮气氛中,离子氮化炉,利用模具(阴极)和阳极之间产生的辉光放电进行渗氮的工艺,与气体渗氮相比工作环境好。由于离子氮化法不是依靠化学反应作用,而是利用离子化了的含氮气体进行氮化处理,所以工作环境十分清洁而无需防止公害的特别没备。因而,离子氮化法也被称作“绿色”氮化法。
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