湖北丰热科技有限公司(原武汉离子热处理研究所),***制造辉光离子渗氮炉的高新技术企业;是集研发、生产、销售安装辉光离子渗氮炉,并为用户提供成套的离子渗氮工艺技术服务。
辉光离子渗氮的特点有:离子轰击有净化表面作用,自动去除钝化膜,不锈钢、耐热钢材料无需预先去除钝化膜,可使不锈钢、耐热钢工件直接渗氮。化合物层结构、渗层厚度和***可以控制。处理温度范围较宽,即使在350℃以下也能获得一定厚度的渗氮层。
当交流电压的频率较低(50HZ~5KHZ)时,工作气体起辉点火电压与直流放电时基本相同。当电压的频率增加到中频时,起辉点火电压比用纯直流靶电源时降低很多。??双极性脉冲中频靶电源,根据有无“串联电压调整”电路有分为“工艺型”和“经济型”两种。2003年,***自然科学基2金委2员会将“大气压辉光放电”列为******研究项目。?
?选用正弦波中频靶电源,由于波形的原因,靶面产生打弧的几率更低并优于双极性矩形波中频靶电源。更适合于对薄膜表面和膜层质量要求较高的溅射工艺。??一般来说,射频辉光放电与直流及中频交流脉冲辉光放电相比,可以在低一个数量级的气体压强状态下进行(例如,1.0×1-2Pa)。同时辉光逐渐扩展到两电极之间的整个放电空间,发光也越来越明亮。??
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