湖北丰热科技有限公司(原武汉离子热处理研究所),***制造辉光离子渗氮炉的高新技术企业;是集研发、生产、销售安装辉光离子渗氮炉,并为用户提供成套的离子渗氮工艺技术服务。
针对辉光离子渗氮炉热处理的全自动控制等方面的课题,公司坚持走科研成果产业化、产学研结合的道路。实现了辉光离子渗氮炉真正的全自动控制,即用户在使用辉光离子渗氮炉时,只需在触摸屏上点击启动键,所有的操作步骤会由程序自动控制。
当交流电压的频率较低(50HZ~5KHZ)时,工作气体起辉点火电压与直流放电时基本相同。当电压的频率增加到中频时,起辉点火电压比用纯直流靶电源时降低很多。渗氮层脆性小,离子氮化表面形成的白层很薄,甚至没有,另外引起的变形小,特别适宜于形状复杂的精密零件。??双极性脉冲中频靶电源,根据有无“串联电压调整”电路有分为“工艺型”和“经济型”两种。?
双极性脉冲中频靶电源一般带孪生靶或双靶运行。两个靶的工作电压极性相反同时又不断互换极性,电压极性为负时的磁控靶发生溅射,极性为正时的那个磁控靶不产生溅射。辉光放电时,在放电管两极电场的作用下,电子和正离子分别向阳极、阴极运动,并堆积在两极附近形成空间电荷区。??由于阴阳极间电场正负极性来回变化,使电子路径延长,与工作气体碰撞次数增加,故单个磁控靶承载同样功率(其它真空环境条件相同)时,选用双极脉冲中频靶电源比用纯直流靶电源和脉冲直流中频靶电源时,工作气体的离化几率和靶材的沉积速率均要高一些。??磁控靶阴极电压极性为负时,其单脉冲气体放电应与直流气体放电伏-安特性曲线异常辉光放电段及之前段的变化规律(趋势)相符。??
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