实验离子氮化炉电话
作者:丰热科技2020/8/20 18:18:29







湖北丰热科技有限公司(原武汉离子热处理研究所),***制造辉光离子渗氮炉的高新技术企业;是集研发、生产、销售安装辉光离子渗氮炉,并为用户提供成套的离子渗氮工艺技术服务。

公司为国内早期从事***辉光离子渗氮炉设备生产的厂商,是国内辉光离子渗氮热处理行业龙头企业;湖北丰热科技有限公司其旗下有武汉离子渗氮研究所、武汉欣杰热处理有限公司。



辉光离子氮化作为七十年代兴起的一种新型渗氮方法与一般的气体渗氮相比,辉光离子渗氮的特点有:渗氮速度较快,可适当缩短渗氮周期,离子氮化时间短,能缩短到气体氮化时间的1/3~2/3。当电子能f提高,也就是增强电场的操作参数,则能使电晕放电过渡到辉光放电。渗氮层脆性小,离子氮化表面形成的白层很薄,甚至没有,另外引起的变形小,特别适宜于形状复杂的精密零件。

继续提高电压,导致带电离子的增加,放电电流随之上升;当电极间的放电电压大于某一临界值(点火起辉电压)时,放电电流会突然迅速上升,阴-阳极间电压陡降并维持在一个较低的稳定值上。可以适用于各种材料,包括要求氮化温度高的不锈钢、耐热钢,以及氮化温度较低的工模具(工具钢)和精密零件,而低温氮化对气体氮化来说是相当困难的。工作气体被击穿、电离,并产生等离子体和自持辉光放电,这就是“汤生放电”的基本过程,又称为小电流正常辉光放电。??

?选用正弦波中频靶电源,由于波形的原因,靶面产生打弧的几率更低并优于双极性矩形波中频靶电源。在置有板状电极的玻璃管内充入低压(约几毫米厷柱)气体或蒸气,当两极间电压较高(约1000伏)时,稀薄气体中的残余正离子在电场中加速,有足够的动能轰击阴极,产生二次电子,经簇射过程产生更多的带电粒子,使气体导电。更适合于对薄膜表面和膜层质量要求较高的溅射工艺。??一般来说,射频辉光放电与直流及中频交流脉冲辉光放电相比,可以在低一个数量级的气体压强状态下进行(例如,1.0×1-2Pa)。??


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