湖北丰热科技有限公司(原武汉离子热处理研究所),***制造辉光离子渗氮炉的高新技术企业;是集研发、生产、销售安装辉光离子渗氮炉,并为用户提供成套的离子渗氮工艺技术服务。
其基本炉型有罩式、井式、卧式,但是通常以罩式为常见。轰击表面的一部分氮夺取电子后直接渗人工件表面,在工件表面上形成含氮很高的呈蒸发状态的Fe,并不断向工件内部扩散,从而达到渗氮的目的。
辉光离子氮化是利用辉光放电原理进行的。可用于不锈钢模具的渗氮,利用离子的轰击作用,可以内动去除不锈钢、耐热钢模具表面的钝化膜,可直接进行不锈钢模具的渗氮。辉光放电是当气体越过电晕放电区后,若减小外电路电阻,或提高全电路电压,继续增加放电功率,放电电流将不断上升。同时辉光逐渐扩展到两电极之间的整个放电空间,发光也越来越明亮。当电子能f提高,也就是增强电场的操作参数,则能使电晕放电过渡到辉光放电。
辉光离子渗氮的特点有:劳动条件有所改善,无公害、离子渗氮处理在很低的压力下进行,排出的废气极1少。APGD的研究也取得了一些进展,如He、Ne、Ar、Krypton惰性气体在大气压下基本实现了APGD,空气也已经实现了用眼睛看上去比较均匀的准“APGD”。气源为氮气、氢气和氨气,基本上无***物质产生。可以适用于各种材料,包括要求氮化温度高的不锈钢、耐热钢,以及氮化温度较低的工模具(工具钢)和精密零件,而低温氮化对气体氮化来说是相当困难的
在运行的射频辉光放电等离子体中,由于离子和电子迁移率的不同将导致阴极负偏压的形成,在阴极表面建立一个直流负偏压是进行射频溅射工艺的必要条件。两个面积相等的电极置于射频辉光放电等离子体中,不可能建立阴极靶表面的负偏压,不可能产生溅射。
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