湖北丰热科技有限公司(原武汉离子热处理研究所),***制造辉光离子渗氮炉的高新技术企业;是集研发、生产、销售安装辉光离子渗氮炉,并为用户提供成套的离子渗氮工艺技术服务。
公司为国内早期从事***辉光离子渗氮炉设备生产的厂商,是国内辉光离子渗氮热处理行业龙头企业;湖北丰热科技有限公司其旗下有武汉离子渗氮研究所、武汉欣杰热处理有限公司。
辉光离子氮化是指利用辉光放电现象使工件表面渗入氮原子的热处理方法。采用专用的辉光离子氮化炉,以工件为阴极,炉体为阳极,当炉内真空度抽至(1~0.1Pa)后通入氨气,使真空室内压力约为66.65~1333.2Pa。
辉光放电的主要应用是利用其发光效应(如霓虹灯、日光灯)以及正常辉光放电的稳压效应。这是辉光放电的显著特征,而且在正常辉光放电时,两极间电压不随电流变化。在阴-阳极间加上直流电压时,腔体内工作气体中剩余的电子和离子在电场的作用下作定向运动,于是电流从零开始增加;当极间电压足够大时,所有的带电离子都可以到达各自电极,这时电流达到某一1大值(即饱和值);??
将两个面积不相等的电极置于射频(例如13.56MHZ)辉光放电离子体中形成非对称放电,面积小的那个电容耦合阴极有可能形成并建立阴极靶表面的负偏压,并能产生溅射。阴极靶表面的“自生负偏压”的数值可以近似等于射频溅射电压的幅值,***1高时可达千伏量级。?电容耦合型射频(RF)放电电极自给偏压的形成,可以防止绝缘层表面正电荷的积累,有助于射频放电的维持。阴极靶表面的“自生负偏压”的数值可以近似等于射频溅射电压的幅值,1高时可达千伏量级。
版权所有©2025 产品网