湖北丰热科技有限公司（原武汉离子热处理研究所），***制造辉光离子渗氮炉的高新技术企业；是集研发、生产、销售安装辉光离子渗氮炉，并为用户提供成套的离子渗氮工艺技术服务。

离子渗碳是将工件装入温度在900℃以上的真空炉内，在碳氢化合物的减压气氛中加热，同时在工件( 阴极)和阳极之间施加高压直流电，产生辉光放电现象，使活化的碳被离子化，在工件附近加速并轰击工件表面进行渗碳的工艺。

?选用正弦波中频靶电源，由于波形的原因，靶面产生打弧的几率更低并优于双极性矩形波中频靶电源。更适合于对薄膜表面和膜层质量要求较高的溅射工艺。??一般来说，射频辉光放电与直流及中频交流脉冲辉光放电相比，可以在低一个数量级的气体压强状态下进行(例如，1.0×1-2Pa)。5mm的气体（亚气、氮气、空气）间隙中做了大量的实验，并宣称实现了大气压辉光放电。??

Roth等人在实验室的一台气体放电等离子体实验装置中实现了Ar、He和空气的“APGD”。1993年Okazaki小组利用金属丝网（丝直径0.035mm，325目）电极为PET膜（介质）、频率为50Hz的电源，在1.5mm的气体（亚气、氮气、空气）间隙中做了大量的实验，并宣称实现了大气压辉光放电。离子渗氮炉包括炉体、真空系统、供气系统、测温系统及控制系统所组成。