湖北丰热科技有限公司（原武汉离子热处理研究所），***制造辉光离子渗氮炉的高新技术企业；是集研发、生产、销售安装辉光离子渗氮炉，并为用户提供成套的离子渗氮工艺技术服务。

?选用正弦波中频靶电源，由于波形的原因，靶面产生打弧的几率更低并优于双极性矩形波中频靶电源。更适合于对薄膜表面和膜层质量要求较高的溅射工艺。??一般来说，射频辉光放电与直流及中频交流脉冲辉光放电相比，可以在低一个数量级的气体压强状态下进行(例如，1.0×1-2Pa)。??

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具有高能量的氮离子轰击工件表面，由动能转化为热能加热工件，离子氮化炉，同时氮离子吸取电子还原成原子被工件表面吸收并向内层扩散。离子轰击工件表面还产生阴极溅射，溅射出铁离子与氮离子化合形成氮化铁FeN，FeN重新附着在工件表面，然后分解为Fe2N和Fe3N并放出氮原子向工件内扩散

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辉光放电（glow discharge）是指低压气体中显示辉光的气体放电现象，即是稀薄气体中的自持放电（自激导电）现象。由法拉第第1一个发现。它包括亚正常辉光和反常辉光两个过渡阶段。辉光放电主要应用于乃稳压管、氦乃激光器等器件的制造。

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