湖北丰热科技有限公司(原武汉离子热处理研究所),***制造辉光离子渗氮炉的高新技术企业;是集研发、生产、销售安装辉光离子渗氮炉,并为用户提供成套的离子渗氮工艺技术服务。
其基本炉型有罩式、井式、卧式,但是通常以罩式为常见。轰击表面的一部分氮夺取电子后直接渗人工件表面,在工件表面上形成含氮很高的呈蒸发状态的Fe,并不断向工件内部扩散,从而达到渗氮的目的。
溅射靶起辉放电后,当电源的输出脉冲的重复频率足够高时,由于真空腔体内的导电离子还没有完全被中和完毕,第二个(以后)重复脉冲的复辉电压与溅射靶的工作电压接近或相同。当电源输出脉冲的重复频率很低(例如几百HZ以下)或灭弧时间过长(大于100ms以上),溅射靶起辉放电后,由于真空腔体内的导电离子已基本被中和掉,第二个(以后)重复脉冲的复辉电压***至较高数值,与点火起辉时的高电压接近或相同。该辉光离子渗氮炉包括内隔热屏,在内隔热屏内壁上装有发热体,发热体与电极间采用螺栓联接,发热体与内壁由陶瓷绝缘体隔离绝缘,绝缘体由螺栓固定在隔热屏内壁上。??
辉光放电有亚正常辉光和反常辉光两个过渡阶段,放电的整个通道由不同亮度的区间组成,即由阴极表面开始,依次为:阿斯通暗区;阴极光层;阴极暗区(克鲁克斯暗区);负辉光区;两个靶的工作电压极性相反同时又不断互换极性,电压极性为负时的磁控靶发生溅射,极性为正时的那个磁控靶不产生溅射。法拉第暗区;正柱区;阳极暗区;阳极光层。其中以负辉光区、法拉第暗区和正柱区为主体。这些光区是空间电离过程及电荷分布所造成的结果,与气体类别、气体压力、电极材料等因素有关,这些都可以从放电理论上作出解释。
2003年,***自然科学基2金委2员会将“大气压辉光放电”列为******研究项目。APGD的研究也取得了一些进展,如He、Ne、Ar、Krypton惰性气体在大气压下基本实现了APGD,空气也已经实现了用眼睛看上去比较均匀的准“APGD”。035mm,325目)电极为PET膜(介质)、频率为50Hz的电源,在1。
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