你现在使用的电脑有一个***处理器,光学软件,它的晶圆片是用一个非常复杂的镜头***加工而来的。这类镜头可能含有20或30个以上的镜片组成,是世界上精细的镜头。如果你想更好的学习光学设计,这将是一个好的学习例子。本课将给出一个学习例子。
镜片数22片
物高31mm
物方数值孔径NA 0.2
波长为UV
像方晶圆尺寸是12.66mm
总长小于1200mm
这种透镜在物体和图像上都是有限共轭的,红外光学,分两步设计。首先,我们将为左半部分设计一个镜片组,可以让光束经过遮光罩,光束到中心后被准直。然后我们将为右半部分设计第二个镜片组,光学,将准直光束成像到晶圆片上。
评价函数包含YZ平面中要求七个点的GNR和倾斜方向视场中的一个点(因为我们将CFOV指令放在SYSTEM文件中),并使用GDR控制X和Y方向上的畸变(因为我们 在GEOM部分中的IMAGE行的词6和7中放了一个所需图像大小的数据)。
GDR 0 1 4 P 0.100000E 02 -0.100000E 02
运行这个MACro。 这将初始设计逐步改进。 运行后,系统看起来更合理。
在该输入中,程序已经在表面1和2之间的全视场上边缘光线,与表面3相交的点与该表面的通光孔径半径(CAO)之间的差值上,指1定了1mm的下限。 结果,如果该交叉点落在该通光孔径内,则评价函数会受到优化,但是如果光线通过该孔径,则不会被优化。 该程序还为反射镜分配了DCCR表面属性,因此,光学镜头设计,默认的通光孔径是在子午面的光线所要求的极值点之间,而不是默认的顶点处。 剩余的CCLEAR项控制每个反射镜对和其他反射镜之间的视场顶部和底部的上边缘光线和下边缘光线之间的间隙。 有许多组合,它们都必须受到控制。
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