半导体工业用的气体统称电子气体。按其门类可分为纯气，高纯气和半导体特殊材料气体三大类。特殊材料气体主要用于外延，掺杂和蚀刻工艺；高纯气体主要用作稀释气和运载气。电子气体是特种气体的一个重要分支。建议新灯使用时可工作于额定电流的70%～80%，然后根据需要逐渐增大工作电流（不得超过规定的大值），这样可延长灯的使用寿命。电子气体按纯度等级和使用场合，可分为电子级，LSI（大规模集成电路）级，VLSI（超大规模集成电路)级和ULSI(特大规模集成电路）级。

近几年来，智研数据研究中心随着我国超大规模集成电路、平板显示器、光伏发电等产业的迅速发展，电子气体市场需求量明显增长，电子特种气体的国产化已是大势所趋。据了解，我国在国产化方面取得可喜进展：国产高纯氨改变了国外气体公司垄断市场的格局，高纯四氟化碳“有价无货”时代也宣告结束，高纯已成功打开国内市场。但事实上，即便是压缩空气的轮胎，一般情况下也不易发生爆胎，除非轮胎一直高负荷运载，比如你参加F1啊等等。

电子气体主要包括：、、乙、化氢、硒化氢、、四氟化碳、化三氢、、三氯化硼、三氟***、三氟化氮、、六、六氟化钨、六氟化硫、、磷烷、、、气、氨气、电子级等.

其中六氟化硫、电子级、、磷烷使用较多。

高纯气

气是第二轻的稀有气体，在放电管里它发红色-橙色的光。气的制冷量比液氦高40倍，比液氢高三倍。对比起氦气来在大多数情况下它是一种比较廉价的冷却液。在所有稀有气体中气的放电在同样电压和电流情况下是强烈的。

这些大的钢铁厂可以生产纯气，有的也是附属生产的氦混合气，纯度不高。

氦混合气终是通过技术提取，提取成高纯气。

像武钢、邯钢、首钢等一些大的钢铁厂都可生产纯气及氦混合气。

气大灯的内部是一种高纯气，可将输入的信号转变为灯光。如果加在两电极间的电压低于启辉电压时，气不会发生电离，电流不会通过气管;当加在两电极间的电压大于启辉电压时，氛气发生电离，此时电流流过气管并同时发出橙红色的辉光。灯里面主要气体是气，在产品中主要用作指示灯用，灯发光是因为在气两端加上高压的情况下，产生辉光放电所致。由于它的透雾能力特别强常用作有雾导航灯，广泛用于机场、车站、码头。一般而言红色的灯常常用于示警作用，比如通信、插座、电热水器、照明电器、家用电器上的指示灯。