




.层流式(Laminar):层流式空气气流运动成一均匀之直线形,空气由覆盖率100%之过滤器进入室内,并由高架地板或两侧隔墙板回风,此型式适用于洁净室等级需定较高之环境使用,一般其洁净室等级为Class 1~100。其型式可分为二种:
(1)水平层流式:水平式空气自过滤器单方向吹出,由对边墙壁之回风系统回风,1尘埃随风向排出室外,一般在下流侧污染较严重。优点:构造简单,运转后短时间内即可变成稳定。缺点:建造费用比乱流式高,室内空间不易扩充。
(2)垂直层流式:房间天花板完全以ULPA过滤器覆盖,空气由上往下吹,可得较高之洁净度,在制程中或工作人员所产生的尘埃可快速排出室外而不会影响其它工作区域。优点:管理容易,运转开始短时间内即可达稳定状态,不易为作业状态或作业人员所影响。
空间范围内之空气中的微尘粒子等污染物排除,而得到一个相当洁净的环境。亦即:这个环境中的微尘粒子相当少,称之为洁净室。消毒池壁内侧与墙体呈45坡形,其尺寸务使工作人员必须通过消毒池才能进入为目的。无尘洁净室被广泛地应用在对环境污染特别敏感的行业,例如半导体生产、生化技术、生物技术、精密机械、制药等行业等,其中以半导体业其对室内之温湿度、洁净度要求尤其严格、故其必需控制在某一个需求范围内,才不会对制程产生影响。作为生产设施,洁净室可以占据厂房很多位置。
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洁净室的清洁程序
(1)、更换好专用防静电服,戴好、口罩,经风浴吸尘通道除尘后,进入洁净室。
(2)、准备好清洁工具及用品并放置在规定地点后,开始清洁工作。
(3)、捡拾地面垃圾,按生产线排列次序由里向外逐一进行。
(4)、按时倾倒清运垃圾桶、垃圾箱内垃圾,并进行检查,按规定严格分类后,经生产线管理员或保安检查后运送到指1定的垃圾房内分类放置。
(5)、由上向下使用洁净纸或无尘布清洁室内玻璃、墙面、货架、
(6)、使用洁净尘推由里向外小心进行地面推尘、保洁。地面有垃圾、污迹、水迹等及时用无尘布清洁干净。
(7)、利用生产线员工休息就餐时间对生产线、工作台下、坐椅下地面进行清理。
(8)、定期清洁天花板、空调出风口、顶灯隔罩、高架地板下,清洁程序和使用的材料必须申请厂务部批准,并利用节假日及休工间隙按计划进行。
(9)、洁净室地面打蜡需严格按计划及清洁程序进行,必须使用防静电蜡。
(10)、清洁工作完成后需将所有清洁用品收到指1定清洁间,与普通工具区别存放,避免交叉污染,整齐摆放,不得随意乱放在洁净室内
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