洁净棚又名无尘洁净棚/净化洁净棚/百级洁净棚/千级洁净棚/万级洁净棚，为在乱流式之无尘车间空间内以防静电之透明塑料布围成一小空间，采用***之HEPA或ULPA及空调送风机组而成为一较高1级之洁净空间，其等级为100~10000级，内部空间高度在2.0米左右，覆盖面积约50m2以下，四支支柱可加装活动轮，可为弹性运用，可配套风淋室使用。

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湿度过高产生的问题更多，相对湿度超过55%时，千级洁净棚价格，冷却水管壁上会结露，如果发生在精密装置或电路中，就会引起各种事故。相对湿度在50%时易生锈。此外，湿度太高时将通过空气中的水分子把硅片表面粘着的灰尘化学吸附在表面耐难以清除。相对湿度越高，洁净棚价格，粘附的难去掉，但当相对湿度低于30%时，又由于静电力的作用使粒子也容易吸附于表面，同时大量半导体器件容易发生击穿。对于硅片生产***1佳温度范围为35—45%。

洁净棚净化级别的选择：

比较多的客户，洁净棚供应商，会选用千级洁净棚，洁净棚，或万级洁净棚，少量客户会选用百级或万级。总之，洁净棚级别的选择在于客户对洁净度的需要而定，但因洁净棚比较密闭，如选择洁净棚级别比较低时，往往会带来部分副1作用：冷量不足，员工在洁净棚内会感觉比较闷热，所以实际在和客户的沟通过程中，需要注意这点。

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