无尘室系统制造符合规格之洁净空气，连续且稳定供给足够之洁净空气于使用端，无尘洁净室内的制造区。以下由立净简单介绍洁净室的处理流程：外气经由外气空调箱初步过滤微尘并控制其温湿度后，经由回风管道间，将洁净室之循环风量与外气空调箱之补充风量混合，经由冷却盘管将回风管道间之回风降温至净室要求之规格，通过循环风扇或FFU带动无尘洁净室的气流循环带走微尘及热量，***后经过超高性能过滤网或过滤后，供应至Fab区。

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净化工程在一定空间范围内，无尘车间净化工程，将空气中的微粒子、***空气、细1菌等污染物排除，并将室内温度、洁净度、压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内的工程学科。净化工程公司所特别设计的房间，不论外在空气条件如何变化，室内均具有维持原先所设定要求之洁净度、温湿度及压力等性能。

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随着时间的推移，无尘洁净室净化工程逐渐成长并广泛应用于各领域，各种技术术也在不断的创造和运用，由此产生了各种洁净室净化方式。将其概括可分为物理式净化方式、静电式净化方式、化学式净化方式、其他净化方式。

一、无尘洁净室物理式净化方式

1、吸附性过滤—活性炭，活性炭是一种多孔性的含炭物质， 它具有高度发达的孔隙构造， 活性炭的多孔结构为其提供了大量的表面积，能与气体（杂质）充分接触，从而赋予了活性炭所特有的吸附性能，***承接空气净化工程，使其非常容易达到吸收收集杂质的目的。就象磁力一样，张家口净化工程，所有的分子之间都具有相互引力。

2、机械性过滤—HEPA网，HEPA(High efficiency particulate air Filter)，中文意思为***空气过滤器，达到HEPA标准的过滤网，对于0.3微米的有效率达到99.998%，HEPA网的特点是空气可以通过，但细小的微粒却无法通过。HEPA过滤网由一叠连续前后折叠的亚玻璃纤维膜构成，形成波浪状垫片用来放置和支撑过滤界质。

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