洁净室净化工程净化工程的施工特点：洁净室净化工程设计首先要了解所设计的洁净室净化工程的用途、使用情况、生产工艺特点等、比如设计的是集成电路生产用洁净室净化工程．首先要弄清楚产品的特性——集成度、持形尺寸和生产工艺特点；对洁净室净化工程的要求——空气洁净度等级、温湿度及其控制范围、防微振、防静电和高纯物质的供应要求等。

复合式为将乱流式及层流式予以复合或并用，福州洁净室设计，可提供局部超洁净之空气。(1)洁净隧道(Clean Tunnel)：以HEPA或ULPA过滤器将制程区域或工作区域100%覆盖使洁净度等级提高至10级以上，福州洁净室，可节省安装运转费用。此型式需将作业人员之工作区与产品和机器维修予以隔离，以避免机器维修时影响工作及品质。ULSI制程大都采用此种型式。

A.空气处理效果较好的，处理过后的空气在送风过程中被污染程度低。送风的温度、湿度控制效果可以达到较好的控制。主要在空气处理机组(增压风柜)里进行控制;B.布置灵活。自带冷源;C.大小厂房、新旧厂房都适用;D.维修频率较低;E.车间噪音低。缺点：A.需要小面积的机房。需要有冷却塔、冷却水泵的摆放位置;B.空调机组与空调处理机组要集中布置;

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