





复合式为将乱流式及层流式予以复合或并用,净化室定制,可提供局部超洁净之空气。(1)洁净隧道(Clean Tunnel):以HEPA或ULPA过滤器将制程区域或工作区域100%覆盖使洁净度等级提高至10级以上,可节省安装运转费用。此型式需将作业人员之工作区与产品和机器维修予以隔离,净化室设计,以避免机器维修时影响工作及品质。ULSI制程大都采用此种型式。

净化区内搬运物料及机具搬运应轻拿轻放,防止碰撞壁板或顶板。工具或材料搬运时必须完全离开地面,无尘净化室,不得在地面上拖行。管道等长度≥1.5米的材料必须由两人进行搬运,一人拿一端,不得一人独自搬运;净化区使用的脚手架必须清扫干净、踏板必须用保鲜膜包裹好,每个脚手架上必须配备一套清扫工具。所有设备(包括脚手架、推车等)车轮必须是橡胶轮子,泉州净化室,而且轮子必须用透明胶带缠紧;不得在净化室进行任何电焊、钻孔、切割、打磨等加工作业,不得已时需向业主申请并做好防护措施
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局部照明这是为增加某一地点(如工作点)的照度而设置的照明。但在室内照明由一般不单独使用局部照明。(3)混合照明这是指工作面上的照度由一般照明和局部照明合成的照明,其中一般照明的照度按《洁净厂房设计规范》应占总照度的10%—15%,但不低干150LX。 单位被照面积上接受的光通量即是照明单位勒克斯(LX)。

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