局部照明这是为增加某一地点（如工作点）的照度而设置的照明。但在室内照明由一般不单独使用局部照明。(3)混合照明这是指工作面上的照度由一般照明和局部照明合成的照明，其中一般照明的照度按《洁净厂房设计规范》应占总照度的10%—15%，但不低干150LX。 单位被照面积上接受的光通量即是照明单位勒克斯(LX)。

运动而呈不规则之乱流或涡流状态。此型式适用于洁净室等级1，南平净化室，000-100，000级。优点：构造简单、系统建造成本低，洁净室的扩充比较容易，无尘净化室，在某些特殊用途场所，净化室设计，可并用无尘工作台，提高洁净室等级。：乱流造成的微尘粒子于室内空间飘浮不易排出，易污染制程产品。另外若系统停止运转再，欲达需求之洁净度，往往须耗时相当长一段时间。

光学微电子净化工程之定义为将一定空间范围内之空气中的微尘粒子、***空气等之污染物排除，并将室内之温湿度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音震动及照明、静电控制在某一需求范围内，而所给于特别设计之密闭空间。光学微电子净化工程亦名无尘室或清净室，已是半导体、精密制造、液晶制造、光学制造、线路板制造和生***学、、食品制造等行业不可或缺的重要设施

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